085400-电子信息
080903-微电子学与固体电子学
080902-电路与系统

光刻技术建模仿真与算法开发；
光电数据处理
控制软件开发

2011-10--2015-09   法国雷恩第一大学   博士研究生
2010-09--2011-07   法国雷恩第一大学   硕士研究生
2009-09--2010-07   法国巴黎十一大学   硕士研究生
2001-09--2005-07   东南大学   本科

   

2019-01~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2017-05~2018-12,北京辰安科技股份有限公司, 模型算法工程师
2011-10~2015-09,法国雷恩第一大学, 博士研究生
2010-09~2011-07,法国雷恩第一大学, 硕士研究生
2009-09~2010-07,法国巴黎十一大学, 硕士研究生
2001-09~2005-07,东南大学, 本科

   

（ 1 ） 一种位置探测信号的分析方法, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114118141A

（ 2 ） 一种样品形貌测量装置及方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN111649693B

（ 3 ） 超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114061452A

（ 4 ） 超精密位置探测光电信号数据拟合方法及其装置, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114061451A

（ 5 ） 六自由度调整装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114047590A

（ 6 ） 采样信号同步控制系统, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114035474A

（ 7 ） 用于硅片高度测量的信号处理方法、装置、设备及介质, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN113916132A

（ 8 ） 硅片高度数据的处理系统及方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113871323A

（ 9 ） 对焦传感器的校准方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110940280B

（ 10 ） 精密运动平台的运动轨迹规划方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113253678A

（ 11 ） 用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113177534A

（ 12 ） 一种用于同步控制的带有遗忘因子的迭代学习控制方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111580466B

（ 13 ） 第9衍射级衍射效率增强的相位光栅结构, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112902996A

（ 14 ） 减小相位光栅非对称性对位置测量精度影响的方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112833790A

（ 15 ） 一种同步控制方法以及系统, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110879567B

（ 16 ） 基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN110968000B

（ 17 ） 一种衍射光栅的设计方法及系统, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111610586A

（ 18 ） 用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN110967944A

（ 19 ） 硅片对准标记布局的优化方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110880469A

（ 20 ） 调整吸盘吸力分布改善硅片翘曲的方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110620067A