长期从事微电子和纳米技术领域的先进量测技术与仪器方向研究。

主要围绕基于偏振光谱学、纳米光子学与光声等交叉学科，结合精密仪器技术，研制光学线宽膜厚、晶圆缺陷等面向微电子制程和微纳结构的尺度与物性量测技术与仪器。

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085400-电子信息
080402-测试计量技术及仪器
080300-光学工程

微电子光学量测技术与仪器
石英MEMS传感器
微纳量测技术

2003-09--2009-01   佛罗里达国际大学   博士
1998-09--2003-07   中国科学技术大学   学士

   

2021-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2013-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2010-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 助理研究员

2021-06-01-今,中国科学技术大学, 校外导师
2015-06-01-2018-05-31,深圳中科飞测科技有限公司, 总监

   

（1） 国际发明银奖, 二等奖, 部委级, 2005

（ 1 ） 一种MEMS谐振式电场传感器灵敏度漂移补偿方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: 202110390536.9

（ 2 ） 反射式近场光学偏振光谱仪, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010464915.3

（ 3 ） 近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: 202010540000.6

（ 4 ） 保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202010464914.9

（ 5 ） 一种石英晶体谐振器的加工方法及装置, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202010224337.6

（ 6 ） 光学测量系统及方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN109425619A

（ 7 ） 光学测量系统及方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN109425618A

（ 8 ） 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103512864B

（ 9 ） 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103575703B

（ 10 ） 宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103185638B

（ 11 ） 一种椭圆偏振仪的校准方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102879337B

（ 12 ） 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103048047B

（ 13 ） Guoguang Li, Tao Liu, Edgar Genio, Tiezhong Ma, Yan Xiaolang，Broadband polarization spectrometer with inclined incidence and optical measurement system, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: US8767209B2

（ 14 ） 包含相位元件的斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102338662B

（ 15 ） 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102455511B

（ 16 ） 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN201310039434.8

（ 17 ） Guoguang Li，Tao Liu，Edgar Genio，Tiezhong Ma，Xiaolang Yan，Broadband polarization spectrometer with normal incidence and optical measuring system, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: US 9176048B

   

（1） Broadband Near-Field Near-Infrared Spectroscopy and Imaging with a Laser-Driven Light Source, PHOTONICS, 2022, 通讯作者
（2） Fourier Transform Near-Infrared Spectral System Based on Laser-Driven Plasma Light Source, SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2022, 通讯作者
（3） Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析, Simulation analysis on influence of Qplus sensor process error, 传感器与微系统, 2022, 通讯作者
（4） 基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统, Fourier Transform Near-Infrared Spectral System Based on Laser-Driven Plasma Light Source, 光谱学与光谱分析, 2022, 通讯作者
（5） 散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试, Development and Application Test of Scattering-type Scanning Near-field Optical Microscope, 光子学报, 2021, 通讯作者
（6） Research on Numerical Model of Nano-FTIR System Based on COMSOL, SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2021, 通讯作者
（7） 基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型, Research on Numerical Model of Nano-FTIR System Based on COMSOL, 光谱学与光谱分析, 2021, 通讯作者
（8） Fourier transform infrared nano-spectroscopy: Mechanism and applications, APPLIED SPECTROSCOPY REVIEWS, 2021, 通讯作者
（9） 集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制, Novel Cluster Tool for Multilayer Nanofilm Deposition: An Instrumentation Study, 真空科学与技术学报, 2020, 第 9 作者
（10） 全反射式宽光谱成像椭偏仪, All-reflective Broadband Spectroscopic Imaging Ellipsometer, 光电工程, 2016, 第 2 作者
（11） 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用, Calibration Method for Single Wavelength Ellipsometry Using Standard Samples, 光学学报, 2013, 第 2 作者
（12） 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统, A Thickness Measurement System for SOI Films Based on Reflectometry, 微电子学, 2013, 第 3 作者
（13） 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法, A Method to Measure the Misalignment Angle of the Optical Axes of Biplate Compensators, 激光与光电子学进展, 2013, 第 2 作者

（1） 集成电路产业全书, 电子工业出版社, 2018-09, 第 5 作者
（2） 中国集成电路检测和测试产业技术创新路线图, 电子工业出版社, 2019-03, 第 5 作者

   

（ 1 ） 高品质SPM传感器研制, 负责人, 国家任务, 2020-01--2024-12
（ 2 ） 基于光学弹性散射的近红外扫描探针显微光谱仪, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2021-12
（ 3 ） 石英高品质SPM传感器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2020-05--2023-05
（ 4 ） 微纳标记技术研究（实陪）, 负责人, 地方任务, 2019-09--2020-08
（ 5 ） 扫描探针显微关键技术研发, 负责人, 中国科学院计划, 2020-07--2023-06

（1）先进封装中的光学检测技术及趋势   中国集成电路封测年会   2017-06-23

现指导学生

许帆  硕士研究生  085400-电子信息  

胡韬  硕士研究生  085400-电子信息  

魏铮  硕士研究生  085400-电子信息