070207-光学

微加工系统,LIGA 技术

2009-09--2014-07   中国科学院大学   博士学位
2005-09--2009-07   河北师范大学   学士学位

   

2009-09~2014-07,中国科学院大学, 博士学位
2005-09~2009-07,河北师范大学, 学士学位

   

（ 1 ） 一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510977465.7

（ 2 ） 半导体气敏传感器及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: ZL201610179398.9

（ 3 ） 一种改善光刻胶脱落的方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510977448.3

（ 4 ） 一种在金刚石压砧上制备金属电极的方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510542911.1

（ 5 ） 一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510346116.5

（ 6 ） 一种硅纳米柱阵列光电池的选择性栅极及其制作方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201310306868.x

（ 7 ） 硅光电池纳米织构化P-N结结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310012197.6

   

（1） The Influence of Silicon Nanopillars Structure as theSubstrate on the SnO2-Based Gas Sensor, ChemistrySelect, 2021, 第 1 作者
（2） Fabrication and photosensitivity of ZnO/CdS/silicananopillars based photoresistor, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2021, 第 1 作者
（3） Fabrication of tree‑like CdS nanorods‑Si pillars structure for photosensitive application, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2020, 第 1 作者
（4） 镍基棱镜型高能X 射线聚焦组合折射透镜的研制, Fabrication of Nickel Prism-Array Combined Refractive Lenses forHigh-Energy X-Ray Focusing, 电子器件, 2020, 第 1 作者
（5） Fabrication of CdS Nanorods on Si Pyramid Surface for Photosensitive Application, ACS Omega, 2020, 第 1 作者
（6） Fabrication and properties of ZnO nanorods on silicon nanopillar surface for gas sensor application, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2019, 第 1 作者
（7） Preparation of CdS nanorods on silicon nanopillars surface by hydrothermal method, Materials Research Bulletin, 2019, 第 1 作者
（8） Fabrication and properties of micro-nano structure based heterojunction solar cell and photoresisto, Mater. Res. Express, 2019, 第 1 作者
（9） Fabrication and photovoltaic effect of ZnO/silicon nanopillars heterojunction solar cel, Microsystem Technologies, 2018, 第 1 作者
（10） Fabrication of microelectrodes on diamond anvil for the resistance measurement in high pressure experiment, Microsystem Technologies, 2018, 第 1 作者
（11） Influence of the bridges on prism-array lens focusing for high energy X-rays, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, 2018, 第 1 作者
（12） Nanopillars on Unpolished Substrates and Their Application in Large-Area Solar Cells, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2017, 第 1 作者
（13） Fabrication of high energy X ray compound kinoform lenses using X ray lithography, Microsystem Technologies, 2017, 第 1 作者
（14） Fabrication and photosensitivity of CdS photoresistor on silica nanopillars substrate, Materials Science in Semiconductor Processing, 2017, 第 1 作者
（15） 聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform 透镜的制作, 光学 精密工程, 2017, 第 1 作者
（16） Fabrication and Photosensitivity of CdS/Silicon Nanoscrew Photoresistor, Chemistry Select, 2017, 第 1 作者
（17） Gas sensor based on ZnO film/ silica pillars, Materials Research Express, 2016, 第 1 作者
（18） Fabrication and Photovoltaic Effect of CdS/Silicon Nanopillars Heterojunction Solar Cell, Chemistry Select, 2016, 第 1 作者
（19） The silicon solar cell with selective nanoscrew pillars fabricated by Cesium Chloride self-assembly lithography and dry etching, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2016, 第 1 作者
（20） Overcoming the Problem of Electrical Contact to Solar Cells Fabricated using Selective Area Silicon Nanopillars, Energy Technology, 2016, 第 1 作者
（21） Fabrication of inverted pyramid structure by Cesium Chloride self-assembly lithography for silicon solar cell, Materials Science in Semiconductor Processing, 2015, 第 1 作者
（22） Fabrication and Photovoltaic Characteristics of Silicon Nanoscrew and Nanohole Based Solar Cells, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2015, 第 1 作者

   

（ 1 ） 基于LIGA技术的硬X射线纳米聚焦折射透镜的研制, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12