080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

集成电路先导工艺技术
MEMS智能传感器
物联网及智能硬件

2005-03--2008-06   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   博士
2002-09--2005-03   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   硕士
1998-09--2002-07   聊城大学   学士

   

2013-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研二级
2011-07~2013-11,中国科学院微电子研究所, 副研三级
2011-07~现在, 江苏物联网研究发展中心, 副研
2008-07~2011-07,中国科学院微电子研究所, 助研

2016-05-01-今,企业硕导, 中北大学-仪器科学与技术学院研究生导师

   

（1） 吉林省科技厅科技成果三等奖, 三等奖, 省级, 2004

（ 1 ） 倾斜下电极式光开关的闩锁, 实用新型, 2005, 第 3 作者, 专利号: 03251920.6
（ 2 ） 微机械光开关的闩锁及制作, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: 03127612.1
（ 3 ） 微机械推拉式可调谐光栅, 发明, 2009, 第 2 作者, 专利号: 101493574 B
（ 4 ） 基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 101441112 B
（ 5 ） 一种晶圆级MEMS器件的真空封装结构及封装方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210088182.3
（ 6 ） 一种晶圆临时键合方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 201210260218.1
（ 7 ） 一种柔性多参数传感器及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210265331.9
（ 8 ） 一种柔性多参数传感器, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201220366634.5
（ 9 ） 一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201210300822.2
（ 10 ） 一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303727.8
（ 11 ） 基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: 201210303746.0
（ 12 ） 用于传感器芯片的开放式封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220491566.5
（ 13 ） 用于传感器芯片的开放式封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210358177.X
（ 14 ） 一种MEMS温度传感器的封装结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220489285.6
（ 15 ） 一种MEMS温度传感器的封装结构及其制造方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210359753.2
（ 16 ） MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220491118.5
（ 17 ） MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210357917.8
（ 18 ） 压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220501087.7
（ 19 ） 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2013, 第 5 作者, 专利号: 201220500936.7
（ 20 ） 一种压力传感器温度特性的测试装置, 实用新型, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372437.9
（ 21 ） 压力传感器温度特性的测试装置, 发明, 2012, 第 5 作者, 专利号: 201210372438.3
（ 22 ） 电互联阵列的测试结构, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201220560105.9
（ 23 ） 电互联阵列的测试结构及其测试方法, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210422224.2
（ 24 ） 单片集成式微型红外气体传感器, 实用新型, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201320269323.1
（ 25 ） 单片集成式微型红外气体传感器, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201310182931.3
（ 26 ） MOS气体传感器及其制备方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510393508.7
（ 27 ） [18.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器及其制作方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610133211.1
（ 28 ） [17.] 集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201620179891.6

   

（1） A compact Infrared gas sensor based on an asymmetry gas cavity, Key Engineering Materials, 2015, 第 1 作者
（2） 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, The automated testing platform for multi-channel MEMS accelerometers based on visual instrument technique, Infrared and Laser Engineering, 2014, 第 1 作者
（3） Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity, The5thInternational Conference of CSMNT2014, 2014, 第 1 作者
（4） Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, J. Micromech. Microeng, 2013, 第 3 作者
（5） Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 3 作者
（6） CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作, Design and fabrication of CMOS compatible IRFPA, Infrared and Laser Engineering, 2010, 第 1 作者
（7） A compressed wide period-tunable grating working in low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
（8） A compressed wide period-tunable grating working at low voltage, Journal of Semiconductors, 2010, 第 3 作者
（9） MEMS compressed tunable grating, Proc. SPIE, 2009, 第 3 作者
（10） Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement in Low Driving Voltage, The Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 第 1 作者
（11） Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss, Proc. SPIE , 2005, 第 1 作者

   

（ 1 ） 基于SOI硅片CMOS-MEMS工艺兼容的IRFPA研究, 主持, 部委级, 2011-01--2012-01
（ 2 ） 集成纳米结构的多参数MEMS红外气体传感器, 主持, 国家级, 2014-01--2018-12
（ 3 ） 基于等离子体共振理论单片集成式气体传感器关键技术研究, 参与, 省级, 2013-07--2016-06
（ 4 ） 面向物联网用高集成度微型CO2气体传感器, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
（ 5 ） 面向物联网用MEMS多传感器自动化测试系统开发, 主持, 国家级, 2012-01--2013-12
（ 6 ） 集成电路与MEMS集成封装测试服务平台, 参与, 国家级, 2011-01--2013-12
（ 7 ） 无源、无线、多参数维纳传感器与系统, 参与, 国家级, 2013-01--2015-12

（1）Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering   2016-04-17
（2）CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON   2016-04-17
（3）Research of a optical Mini-type gas sensor based on an asymmetry gas cavity   Anjie Ming1,2*,Wenbo Zhang2, Zhenxin Tan2,Wen Ou1,2 , Haiping Shang1,2,Qiulin Tan3,Haiyang Mao1,2, Jijun Xiong3, Dapeng Chen1   2014-08-31
（4）基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统   第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会   明安杰 赵敏 谭振新 吴健 欧文 陈大鹏   2013-07-22
（5）CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作   第九届全国光电技术学术交流会   明安杰，陈大鹏，欧 文，王玮冰，何 伟，刘占峰   2009-05-29
（6）Study on optical parts of MOEMS optical switch with low insertion loss   AnJie.Ming   2005-10-15

已指导学生

孙西龙  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

赵永敏  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

强毅博  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

贺金鹏  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

徐梓文  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

党鹏  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

吴东阳  硕士研究生  085209-集成电路工程