080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

集成电路先导工艺技术
新原理装备技术

2000-09--2005-07   清华大学   工学博士
1993-09--1996-03   哈尔滨工业大学   工学硕士
1989-09--1993-07   哈尔滨工业大学   工学学士

   

2011-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2010-03~2011-05,the University of North Carolina, USA, Post doctor
2005-12~2009-11,Singapore-MIT Alliance, Singapore, Research Fellow
1996-04~1998-01,北京空间机电研究所, 助理工程师

2016-02-01-今,东方晶源微电子科技（北京）有限公司, 项目经理，项目总监
2013-11-10-今,Laser in Engineering审稿人, 稿件审核
2013-11-07-今,Measurement审稿人, 稿件审核
2013-09-09-今,Chinese Optics Letters审稿人, 稿件审核
2010-09-05-今,Optics Express审稿人, 稿件审查

   

（ 1 ） 一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 201310003089
（ 2 ） 一种EUV光源污染物收集装置, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201210479101
（ 3 ） 偏振模色散补偿系统, 发明, 2003, 第 2 作者, 专利号: 03150120
（ 4 ） 一种平凸透镜对心安装装置, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201410676554.3
（ 5 ） 一种调焦调平传感器测量装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410374962.3
（ 6 ） 一种垂向调整装置, 发明, 2014, 第 5 作者, 专利号: 201410718598.8

   

（1） 基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术, Nanoscale Focusing and Leveling Measurement Technology Based on Optical Spatial Split, 光学学报, 2016, 第 2 作者
（2） 纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性, Process Dependency of Focusing and Leveling Measurement System in Nanoscale Lithography, 光学学报, 2016, 第 2 作者
（3） Toward soft-tissue elastography using digital holography to monitor surface acoustic wave, Journal of Biomedical Optics, 2011, 第 1 作者
（4） Feasibility study on bonding quality inspection of microfluidic devices by optics coherence tomography, Journal of Biomedical Optics, 2011, 第 1 作者
（5） Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography, Proc. SPIE 7965, 2011, 第 1 作者
（6） Measurement of buried undercut structures in microfluidic devices by laser fluorescent confocal microscopy, Applied Optics, 2009, 第 1 作者
（7） Microvalve thickness and topography measurements in microfluidic devices by white-light confocal microscopy, Applied optics, 2009, 第 1 作者
（8） Three-dimensional profile stitching based on the fiducial markers for microfluidic devices, Optics Communications, 2009, 第 2 作者
（9）  Fusion of Metrology Data for High-Volume Large-Scale Manufacturing of Polymer-Based Micro？uidic Devices, International journal of nanomanufacturing, 2009, 第 3 作者
（10） Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices, SMA 10th Anniversary Symposium, 2009, 第 1 作者
（11） Three dimensional sidewall measurements by laser fluorescent confocal microscopy, Optics express, 2008, 第 1 作者
（12） Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology, Proc. SPIE 6993, 2008, 第 1 作者
（13） Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates, SPIE 7155, 2008, 第 3 作者
（14） Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008, 第 1 作者
（15） Complete Surface Distinguishing and Overlapping Technology for Three-dimensional Image Processing of Micro Devices, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008, 第 2 作者
（16） Dimensional variation in production of high-aspect-ratio micro-pillars array by micro powder injection molding, Applied Physics A, 2007, 第 1 作者
（17） Complete polarization controller based on magneto-optic crystals and fixed quarter wave plates, Optics express, 2006, 第 3 作者
（18） Impact of polarization dependent loss on degree of polarization as feedback signal of polarization mode dispersion, Chinese Optics Letters, 2006, 第 3 作者
（19） Experimental mitigation of pulse distortion due to higher order polarization mode dispersion, Proc. SPIE 6025, 2006, 第 3 作者
（20） Compact first and second order polarization mode dispersion emulator, Chinese Optics Letters, 2005, 第 2 作者
（21） Polarization mode dispersion compensation experiments in 10 Gb/s and 40 Gb/s optical communication systems, Proc. SPIE 6021, 2005, 第 2 作者
（22） Compact optical roll angle sensor with large measurement range and high sensitivity, Optics letters, 2005, 第 1 作者
（23） Dynamic performance of magneto-optical Bi-substituted rare-earth iron garnet, Chinese optics letters, 2005, 第 1 作者
（24） Frequency dependence of polarization mode dispersion of crystal-based polarization mode dispersion compensator, Chinese Physics Letters, 2005, 第 1 作者
（25） Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems, Proc. SPIE 5625, 2005, 第 1 作者
（26） Compact first-order polarization mode dispersion compensator based on birefringent crystals, Chinese Physics Letters, 2004, 第 2 作者
（27） Feed-forward polarization mode dispersion compensation with a step control algorithm, Optics Communications, 2003, 第 3 作者

   

（ 1 ） 浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估, 参与, 国家级, 2012-01--2014-12
（ 2 ） 投影曝光检测系统关键部件分析与试验研究, 参与, 国家级, 2013-01--2016-12
（ 3 ） EUVL技术体系与研发方案研究, 参与, 国家级, 2012-01--2016-12

（1）Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography   Shiguang Li, Amy L. Oldenburg   2011-02-12
（2）Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices   Shiguang Li, Zhiguang Xu, Soon Fatt Yoon, etc   2009-01-21
（3）Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates   Hayden K. Taylor, Zhiguang Xu, Shiguang Li, Kamal Youcef-Toumi, etc   2008-09-29
（4）Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology   Shiguang Li, Zhiguang Xu, and etc   2008-04-08
（5）Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy   Shiguang Li, Todd Thorsen, Zhiguang Xu, etc   2008-01-23
（6）Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems   Shiguang Li, Changxi Yang and Guofan Jin   2005-02-28

已指导学生

郭杰  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

钟志坚  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学