基本信息

唐燕  女  博导  中国科学院光电技术研究所
电子邮件: ty0513@163.com
通信地址: 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码: 610209

个人信息

唐燕,女,1982年生,入选“西部之光”人才计划,中国科学院青年创新促进会成员。致力于微纳制造中的纳米检测技术研究,针对制造过程检测需要,开展光刻机设备核心检焦、对准及间隙测量等关键技术研究。针对加工结果检测需要,以超分辨、三维测量为核心,开展多种检测方法研究及专用设备研发。  

发表论文20余篇,其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文10余篇,申请国家发明专利10余项,授权5项。作为项目负责人,主持国家自然科学基金青年、面上项目各一项,“西部之光”重点项目一项,中国科学院科学仪器研发项目一项,四川省科技支撑计划项目一项,作为课题负责人参与国家重大仪器专项“超分辨光刻装备研制”,负责其中核心间隙测量、检焦及对准系统研发。此外,带领微纳检测团队争取国家及省部级项目10余项。  

​独立/协助指导硕士研究生7名,博士研究生8名,已毕业7名,累计7人获得国家奖学金,4人获得朱李月华博士奖,1人获得四川省优秀毕业生称号。所指导的学生,2人次获得光电所研究生创新基金,1人获得国家自然科学基金面上项目,2人获得国家自然基金青年项目,1人获得四川省苗子工程资助。


招生信息

微纳制造中的纳米检测技术研究


招生专业
080402-测试计量技术及仪器
招生方向
微电子装备关键技术
微纳结构三维形貌检测

教育背景

2005-09--2010-07   四川大学   工学博士
2001-09--2005-07   四川大学   工学学士

工作经历

   
工作简历
2010-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510100540.1
( 2 ) 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410157861.0
( 3 ) 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510001996.2

出版信息

   
发表论文
(1) 基于复合光栅的大范围高精度对准方法, 光学学报, 2016, 通讯作者
(2) Nano-Focusing and Leveling System Based on Improved Phase Analysis, IEEE Photonics Journal, 2016, 第 1 作者
(3) 基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究, 光学学报, 2015, 通讯作者
(4) A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography, IEEE Photonics, 2014, 通讯作者
(5) Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 4 作者
(6) Collimation Sensing With Differential Grating and Talbot Interferometry, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 2 作者
(7) A hybrid doubled achromat based on a photon, optik, 2014, 第 3 作者
(8) Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector diffraction, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 1 作者
(9) Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography, Optics and Lasers in Engineering, 2013, 第 4 作者
(10) Alignment method based on matched dual-grating moiré fringe for proximity lithography, Optical Engineering, 2012, 第 4 作者
(11) 大数值孔径光子筛偏振特性研究, 光学学报, 2012, 第 1 作者
(12) 准相位型光子筛设计, 光学学报, 2012, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于相位偏折原理的高精度整场检焦方法研究, 主持, 国家级, 2012-01--2015-12
( 2 ) 微纳流控芯片加工设备研制, 主持, 部委级, 2012-01--2015-12
( 3 ) 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家级, 2012-01--2015-12

指导学生

已指导学生

司新春  硕士研究生  085202-光学工程  

现指导学生

谢仲业  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

韩陈浩磊  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

成小龙  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

刘磊  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

位浩杰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器