基本信息
陈波  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: chenbo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市北土城西路3号
邮政编码:
部门/实验室:设备中心

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
新原理装备技术

教育背景

2000-09--2004-05   New Jersey Institute of Technology   博士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
2009-02~2011-11,美国Angstrom Thin Film 公司, 经理
2005-01~2009-01,美国Semitool公司, 研发工程师、技术经理
2001-01~2004-12,美国NJ Silicon Wafer Tech. 公司, 研发工程师
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 去除光刻胶的方法与装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN101943868
( 2 ) 一种用于单面处理的夹持与保护装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN10186687
( 3 ) 用于半导体基片表面进行电镀的装置, 实用新型, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN101943868
( 4 ) 一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN01992165

出版信息

   
发表论文
(1) 图型化蓝宝石衬底工艺研究进展, 半导体技术, 2012, 通讯作者
(2) 基于图型化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展, 中国激光, 2012, 通讯作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 45nm铜互连清洗设备工艺腔室与工艺开发, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生