080903-微电子学与固体电子学

MEMS

2000-09--2004-06   加州大学洛杉矶分校机械与航空工程系   博士
1997-09--2000-07   清华大学材料科学与工程系   硕士
1992-09--1997-07   清华大学材料科学与工程系   本科学士学位

   

2005-11~2011-10,Innovative Micro Technology, 研发工程师和项目经理
2004-06~2005-11,加州纳米系统中心, 博士后
2000-09~2004-06,加州大学洛杉矶分校机械与航空工程系, 博士
1997-09~2000-07,清华大学材料科学与工程系, 硕士
1992-09~1997-07,清华大学材料科学与工程系, 本科学士学位

   

（1） Pittcon Editors' Gold Award, , 其他, 2010
（2） R&D 100 Awards, , 其他, 2010

（ 1 ） MEMS扫描振镜的磁场系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201310479059.9

（ 2 ） 微探针及其制备方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410101105.6

   

（1） Measuring single cell mass, volume, and density with dual suspended microchannel resonators, Lab on a Chip, 2014, 第 3 作者
（2） Weighing nanoparticles in solution at the attogram scale, PNAS, 2013, 第 4 作者
（3） Electrostatic Side-Drive Rotary Stage on Liquid-Ring Bearing, Joural of Microelectromechanical Systems, 2013, 第 4 作者
（4） Toward attogram mass measurements in solution with suspended nanochannel resonators, Nano Letters, 2010, 第 2 作者
（5） Suspended microchannel resonators with piezoresistive sensors, Lab on a Chip, 2010, 第 3 作者
（6） Weighing of biomolecules, single cells and single nanoparticles in fluid, Nature, 2007, 第 4 作者
（7） Electrostatically actuated metal-droplet microswitches integrated on CMOS chip, Journal of Microelectromechanical Systems, 2006, 第 1 作者
（8） Electric lithography by electrochemical polymerization, Appl. Phys. Lett, 2005, 第 1 作者

   

（ 1 ） 基于硅基三维微纳结构的超级电容器的研究, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
（ 2 ） 氮化镓基激光微投影系统的研制, 负责人, 研究所自主部署, 2013-01--2015-12
（ 3 ） 激光像源, 负责人, 其他国际合作项目, 2012-11--2015-12
（ 4 ） 青年****启动经费, 负责人, 国家任务, 2012-02--2015-02
（ 5 ） MEMS器件的研究, 负责人, 研究所自主部署, 2011-11--2014-12