基本信息
陈鲁  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: chenlu@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
部门/实验室:成果转化部-深圳飞测

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
新原理装备技术

教育背景

1997-09--2003-11   Brown University   博士
1992-09--1997-06   中国科学技术大学   学士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
2005-11~2010-02,KLA-Tencor, 研究科学家
2003-11~2005-10,Rudolph Technologies, Inc., 系统科学家
1997-09~2003-11,Brown University, 博士
1992-09~1997-06,中国科学技术大学, 学士
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
   

出版信息

   
发表论文
   
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 光学检测系统的研发, 主持, 市地级, 2010-07--2013-10
( 2 ) 光学位相检测仪器的研发, 主持, 部委级, 2011-11--2013-11
( 3 ) 百人计划经费, 主持, 部委级, 2010-03--2013-03
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生