光电测量与控制

图像处理

招收光学工程、自动化、测控技术等专业学生

080300-光学工程
085400-电子信息

光电信息处理
图像处理算法
光电测控

2000-09--2005-03   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   博士
1996-09--2000-06   四川大学   学士　

-- 研究生

-- 博士

2018.11-至今        中国科学院微电子所 副研究员，正高工

2005.04--2018.10 中国科学院光电研究院 助研，副研究员

奖励：

         1） 光刻准分子光源研发与产业化, 特等奖, 院级, 2016

         2） 车载系留气球监测系统，特等奖，部委级，2010

         3）大功率全固态激光器开发及产业化，一等奖, 部委级, 2008

专利：

1)       一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及准分子激光器，发明，2020，第1作者，ZL202011239030.X

2)       一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统，发明，2019，第2作者，ZL201910122841.2

3)       一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法, 发明，2019，第2作者，ZL 201910742243.5

4)       一种准分子激光器温度控制装置，实用新型，2019，第2作者，ZL201920130170.X

5)       一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，实用新型，2019，第2作者，ZL201921081140.0

6)       激光器波长测量装置及方法，发明，2018，第3作者，ZL202010244216.8

7)       一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置，发明，2018，第2作者，ZL201810107583.6

8)       一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法，发明，2017，第2作者，ZL201711245937.5

9)       一种绝对波长标定和校准装置及其方法，发明，2016，第4作者，ZL 201610457734.1

10)    一种调焦调平装置，发明，2011，第2作者，ZL 201110319524.3

   

   

（1）Image Acquisition and MeasurementMotion positioning system DesignBased on the Projection Lens Wave Aberration   Xiaoquan Han   2017-03-01

1)       表面颗粒检测与控制技术，参与，部委级，2021.01-2023.12

2)       浸没式曝光光源产品研制与小批量生产能力建设/控制系统，主持，国家级，2016.01-2020.05

3)       248nm KrF步进扫描双工件台光刻机曝光光源开发，主持，国家级，2017.6-2020.05

4)       248nm曝光光源产业化，主持，部委级，2018.01-2019.06

5)       SiC基紫外探测器件研制/探测器性能评估及产品开发，主持，部委级，2016.05-2019.07

6)       40W 4KHz ArF曝光光源产品开发/控制系统，主持，国家级，2013.01-2020.05

7）  投影曝光光学系统检测平台研制/控制系统，主持，国家级，2009.07-2015.12

已指导学生

宋珂  硕士研究生  430103-光学工程  

夏舒仪  硕士研究生  085202-光学工程  

朱成林  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

孙泽旭  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

冯泽斌  博士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

季艺雯  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

马钺洋  硕士研究生  085400-电子信息  

1)       Excimer Laser Model based on Temporal Convolutional Neural Network，Applied Optics, 2022，通讯作者

2)       门控循环网络辨识准分子激光器能量模型，中国激光，2021，通讯作者

3)       基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究，中国激光，2020，通讯作者

4)       高重频KrF准分子激光器能量特性控制，红外与激光工程，2020，通讯作者

5)       基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究，量子电子学报，2018，第2作者

6)       Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement，SPIE，2017，第1作者

7)       A design of energy detector for ArF excimer lasers，SPIE，2017，第2作者

8)       准分子激光器温度控制系统设计，量子电子学报，2015，第2作者

9)       基于LABVIEW的调焦控制系统研究，测试技术学报，2013，通讯作者

10)     Strap-down stabilization for multi-load optoelectronic imaging platform，Aircraft Engineering and Aerospace Technology，2012，第3作者

11)     Tracking technology for optoelectronic imaging platform of tethered balloon based on DGPS/INS，OPTO-ELECTRONICS REVIEW，2011，第4作者

12)     Vehicle tethered aerostat optoelectronic monitoring platform system for Shanghai World EXPO，ISPEM2010，第3作者