基本信息
齐月静  女  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: qiyuejing@ime.ac.cn
通信地址: 北京市海淀区邓庄南路9号科研楼324室
邮政编码: 100094
部门/实验室:光刻总体部

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
精密仪器与光学

教育背景

2002-09--2007-03   北京理工大学   硕博连读
学历
北京理工大学 -- 研究生
学位
北京理工大学 -- 博士
出国学习工作
   

工作经历

2007年~2009年,北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今,中国科学院光电研究院光电工程部。
工作简历
2015-01~现在, 中国科学院光电研究院, 研究员
2009-06~现在, 中国科学院光电研究院, 副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 一种调焦调平装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201110321960.4
( 2 ) 一种调焦调平装置的起偏光路, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL201120403041.7
( 3 ) 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310032880.6
( 4 ) 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310041059.0
( 5 ) 一种V形块位置转换机构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201210505997.7
( 6 ) 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104345429B
( 7 ) 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104337492A
( 8 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104375385B
( 9 ) 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104101487B
( 10 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104913843B
( 11 ) 一种激光干涉仪调整座, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104990631A
( 12 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611169812.4
( 13 ) 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610548151.X
( 14 ) 一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710247966.9
( 15 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710242017.1

出版信息

   
发表论文
(1) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, analysis of effect of ambient temperature variation on measurement accuracy of shack-hartmann wavefront sensor, 中国激光, 2016, 第 2 作者
(2) Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2016, 第 3 作者
(3) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, 中国激光, 2016, 第 2 作者
(4) Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, SPIE, 2015, 第 2 作者
(5) Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2015, 第 2 作者
(6) 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, 中国激光, 2015, 第 1 作者
(7) Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9621(2015), 2015, 第 2 作者
(8) Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 2 作者
(9) 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者
(10) A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 1 作者
(11) 基于光弹调制器的对准光路装调方法, Installation and Setting Method of Alignment System based on Photoelastic Modulator, 仪器仪表学报, 2012, 第 2 作者
(12) 基于FPGA的非标准二次群路的分接处理, 仪器仪表学报, 2008, 第 2 作者
(13) 基于虚拟仪器的大型温度场测试系统, 仪器仪表学报, 2008, 第 1 作者
(14) Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method, spie, 2007, 第 1 作者
(15) 提高二元计算全息图设计精度的新途径, 光学技术, 2007, 第 1 作者
(16) Compensator design for aspheric testing using virtual glass model, spie, 2007, 第 3 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) NA0.75光学系统样机攻关/投影曝光系统像质参数检测, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
( 2 ) 光学外差干涉测量技术研究, 主持, 院级, 2015-01--2016-05
( 3 ) 高NA浸没光学系统关键技术研究/投影曝光系统系统参数检测, 主持, 国家级, 2017-05--2018-12
( 4 ) 20W 4KHz ArF曝光光源研发/准分子激光器模块设计与检测平台研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
参与会议
(1)confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor   国际先进光刻技术会议   2016-02-24
(2)A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor   国际先进光学制造与检测学术会议   齐月静   2014-04-26
(3)Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method   国际先进光学制造与检测学术会议   qiyuejing   2007-08-16

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生

已指导学生

李伟超  02  19573  

孟庆宾  02  20471  

现指导学生

庄函  02  20471  

马敬  02  63341