基本信息

齐月静 女 博导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: qiyuejing@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
电子邮件: qiyuejing@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
精密仪器与光学
教育背景
2002-09--2007-03 北京理工大学 硕博连读
学历
北京理工大学 -- 研究生
学位
北京理工大学 -- 博士
工作经历
2007年~2009年,北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今,中国科学院光电研究院光电工程部。
2009年~至今,中国科学院光电研究院光电工程部。
工作简历
2015-01~现在, 中国科学院光电研究院, 研究员2009-06~现在, 中国科学院光电研究院, 副研究员2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 一种调焦调平装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201110321960.4( 2 ) 一种调焦调平装置的起偏光路, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL201120403041.7( 3 ) 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310032880.6( 4 ) 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201310041059.0( 5 ) 一种V形块位置转换机构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201210505997.7( 6 ) 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104345429B( 7 ) 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104337492A( 8 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104375385B( 9 ) 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104101487B( 10 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104913843B( 11 ) 一种激光干涉仪调整座, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104990631A( 12 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611169812.4( 13 ) 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610548151.X( 14 ) 一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710247966.9( 15 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710242017.1
出版信息
发表论文
(1) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, analysis of effect of ambient temperature variation on measurement accuracy of shack-hartmann wavefront sensor, 中国激光, 2016, 第 2 作者(2) Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2016, 第 3 作者(3) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, 中国激光, 2016, 第 2 作者(4) Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, SPIE, 2015, 第 2 作者(5) Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, SPIE, 2015, 第 2 作者(6) 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, 中国激光, 2015, 第 1 作者(7) Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9621(2015), 2015, 第 2 作者(8) Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 2 作者(9) 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者(10) A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 1 作者(11) 基于光弹调制器的对准光路装调方法, Installation and Setting Method of Alignment System based on Photoelastic Modulator, 仪器仪表学报, 2012, 第 2 作者(12) 基于FPGA的非标准二次群路的分接处理, 仪器仪表学报, 2008, 第 2 作者(13) 基于虚拟仪器的大型温度场测试系统, 仪器仪表学报, 2008, 第 1 作者(14) Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method, spie, 2007, 第 1 作者(15) 提高二元计算全息图设计精度的新途径, 光学技术, 2007, 第 1 作者(16) Compensator design for aspheric testing using virtual glass model, spie, 2007, 第 3 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) NA0.75光学系统样机攻关/投影曝光系统像质参数检测, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12( 2 ) 光学外差干涉测量技术研究, 主持, 院级, 2015-01--2016-05( 3 ) 高NA浸没光学系统关键技术研究/投影曝光系统系统参数检测, 主持, 国家级, 2017-05--2018-12( 4 ) 20W 4KHz ArF曝光光源研发/准分子激光器模块设计与检测平台研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12
参与会议
(1)confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor 国际先进光刻技术会议 2016-02-24(2)A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor 国际先进光学制造与检测学术会议 齐月静 2014-04-26(3)Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method 国际先进光学制造与检测学术会议 qiyuejing 2007-08-16
指导学生
已指导学生
李伟超 02 19573
孟庆宾 02 20471
现指导学生
庄函 02 20471
马敬 02 63341