基本信息
李超波  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: lichaobo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
微纳感知系统与器件
微纳米先进制造技术
微电子装备与工艺

教育背景

2002-09--2007-06   中国科学院微电子研究所   工学博士

工作经历

   
工作简历
2007-06~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员/研究室主任
社会兼职
2018-03-01-今,评审专家, 中国博士后科学基金
2017-07-01-今,委员, 中国生物工程学会生命科学仪器专业委员会
2017-05-01-今,责任专家, 北京市生产力促进中心

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 原子层沉积系统的开发与应用, 一等奖, 部委级, 2017
(2) 等离子体浸没离子注入机开发与应用, 三等奖, 省级, 2014

出版信息

   
发表论文
[1] Huan Wang, Jing Xie, Tao Fan, Dapeng Sun, Chaobo Li. Improving the Thickness Uniformity of Micro Gear by Multi-Step, Self-Aligned Lithography and Electroforming. MICROMACHINES[J]. 2023, 14(4): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC10144376/.
[2] 孙大鹏, 田飔莹, 尹楚君, 陈峰岭, 解婧, 黄淳, 李超波. Thin Film Deposition Techniques in Surface Engineering Strategies for Advanced Lithium-Ion Batteries. Coatings[J]. 2023, 13(3): 505-, https://www.mdpi.com/2079-6412/13/3/505.
[3] Guojian Zhu, Yi Zhou, Zeyu Si, Yin Cheng, Fei Wu, Huan Wang, Yaozong Pan, Jing Xie, Chaobo Li, Aiying Chen, Ranran Wang, Jing Sun. A multi-hole resonator enhanced acoustic energy harvester for ultra-high electrical output and machine-learning-assisted intelligent voice sensing. NANO ENERGY[J]. 2023, http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2023.108237.
[4] Chen, Fengling, Lin, Jiannan, Chen, Yifan, Dong, Binbin, Yin, Chujun, Tian, Siying, Sun, Dapeng, Xie, Jing, Zhang, Zhenyu, Li, Hong, Li, Chaobo. Enhancement of electrochemical performance in lithium-ion battery via tantalum oxide coated nickel-rich cathode materials. CHINESE PHYSICS B[J]. 2022, 31(5): 683-690, http://dx.doi.org/10.1088/1674-1056/ac4481.
[5] 武燕婷, 熊伟, 李超波. 光弹调制器研究综述及原理验证. 压电与声光[J]. 2021, 43(3): 352-358, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7104999390.
[6] Zeng, Chaozhi, Chen, Fengling, Ye, Qing, Guo, Qiang, Li, Chaobo, Huang, Chun. Facile preparation of hierarchical micro-nano FeF(3)0.33H(2)O by a one-pot method with dual surfactants. NANOTECHNOLOGY[J]. 2021, 32(15): http://dx.doi.org/10.1088/1361-6528/abd6d0.
[7] Sun, Dapeng, Xie, Jing, Li, Chaobo, Chen, ChingJung, Liu, JenTsai. The investigation on the specificity of glycated albumin aptamer. BASIC & CLINICAL PHARMACOLOGY & TOXICOLOGYnull. 2021, 128: 84-85, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000614873400149.
[8] 何彤, 熊伟, 李超波. 基于最优化方法的光弹调制器光学模型验证. 压电与声光[J]. 2021, 43(5): 661-665, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7105870443.
[9] Yin, Chujun, Gong, Chuanhui, Tian, Siying, Cui, Yi, Wang, Xuepeng, Wang, Yang, Hu, Zhenheng, Huang, Jianwen, Wu, Chunyang, Chen, Bo, Wang, Xianfu, Li, Chaobo. Low-Energy Oxygen Plasma Injection of 2D Bi2Se3 Realizes Highly Controllable Resistive Random Access Memory. ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS. 2021, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000702461300001.
[10] 武燕婷, 熊伟, 李超波, 胡震恒, 田飔莹. 光弹调制器谐振特性的研究及验证. 光学学报[J]. 2021, 41(15): 197-205, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7105801921.
[11] Yin, Chujun, Gong, Chuanhui, Chu, Junwei, Wang, Xudong, Yan, Chaoyi, Qian, Shifeng, Wang, Yang, Rao, Gaofeng, Wang, Hongbo, Liu, Yuqing, Wang, Xianfu, Wang, Jianlu, Hu, Weida, Li, Chaobo, Xiong, Jie. Ultrabroadband Photodetectors up to 10.6 mu m Based on 2D Fe3O4 Nanosheets. ADVANCED MATERIALS[J]. 2020, 32(25): [12] Gong, Chuanhui, Chu, Junwei, Qian, Shifeng, Yin, Chujun, Hu, Xiaozong, Wang, Hongbo, Wang, Yang, Ding, Xiang, Jiang, Shangchi, Li, Alei, Gong, Youpin, Wang, Xianfu, Li, Chaobo, Zhai, Tianyou, Xiong, Jie. Large-Scale Ultrathin 2D Wide-Bandgap BiOBr Nanoflakes for Gate-Controlled Deep-Ultraviolet Phototransistors. ADVANCED MATERIALS[J]. 2020, 32(12): http://dx.doi.org/10.1002/adma.201908242.
[13] Zeng, Chaozhi, Zhou, Weihang, Chen, Fengling, Ye, Qing, Li, Chaobo, Huang, Chun. Effects of different carbon coatings on the ion transport mechanism and electrochemical performance of Li4Ti5O12 anode for Lithium ion batteries. SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY[J]. 2020, 403: http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126420.
[14] 康恒, 李勇滔, 李超波, 景玉鹏. 一种电容薄膜真空计检测电路的设计. 仪表技术与传感器[J]. 2019, 45-48, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001540481.
[15] Liu, LiHua, Cui, ShaoHui, Fu, TingZhao, Yuan, Yan, Li, ChaoBo. Effect of concentration on the position of fluorescence peak based on black-silicon SERS substrate. APPLIED SURFACE SCIENCE[J]. 2019, 464: 337-343, http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.09.097.
[16] 远雁, 刘波, 段国韬, 李超波. CuO纳米片的合成及其对甲硫醇气敏性能研究. 安徽师范大学学报:自然科学版[J]. 2019, 42(6): 533-537, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7100841116.
[17] 崔绍晖, 符庭钊, 王欢, 夏洋, 李超波. 纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究. 发光学报[J]. 2018, 39(4): 481-487,  http://dx.doi.org/10.3788/fgxb20183904.0481.
[18] Yang Runhua, Yang Lixin, Li Chaobo, Yan J, Wu J, Li H. Numerical study of Contact-angle on Different Microstructural Surfaces Prepared by PIII Technology. PROCEEDINGS OF THE 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON APPLIED ENERGYnull. 2017, 142: 3833-3838, http://dx.doi.org/10.1016/j.egypro.2017.12.284.
[19] Fu, Tingzhao, Cui, Shaohui, Wang, Huan, Xia, Yang, Li, Chaobo. Tiny impacts for far-field focusing by plasmonic lens with a free slit-width design. OPTICAL ENGINEERING[J]. 2017, 56(11): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000418064900038.
[20] Runhua Yang, Lixin Yang, Chaobo Li. Numerical study of Contact-angle on Different Microstructural Surfaces Prepared by PIII Technology. ENERGY PROCEDIA. 2017, 142: 3833-3838, http://dx.doi.org/10.1016/j.egypro.2017.12.284.
[21] Liu Weibing, Ming Anjie, Tan Zhenxin, Tan Qiulin, Sun Xilong, Li Chaobo, Yang Chengyue, Mao Haiyang, Wang Weibing, Xiong Jijun, Chen Dapeng, IEEE. Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer. 2016 IEEE SENSORSnull. 2016, [22] 孙铁成, 张思敏, 李超波. 蚁群算法在PID控制中的应用及其参数影响. 现代电子技术[J]. 2015, 38(20): 20-25, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=666338833.
[23] 卢维尔, 李超波, 夏洋, 李楠, 张艳清, 赵丽莉. 原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究. 材料导报:纳米与新材料专辑[J]. 2014, 28(2): 255-259, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=663621062.
[24] 卢维尔, 李超波, 夏洋, 李楠, 张艳清, 赵丽莉. 原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究. 材料导报[J]. 2014, 255-259, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=67766866504849528350485453.
[25] Lu WeiEr, Dong YaBin, Li ChaoBo, Xia Yang, Li Nan. Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2014, 29(4): 345-351, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000336887600002.
[26] 邹志超, 李超波, 罗军, 夏洋. 等离子体浸没离子注入技术在FinFET掺杂中的应用. 半导体技术[J]. 2014, 39(8): 596-599,604, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092465.
[27] Lu, Weier, Dong, Yabin, Li, Chaobo, Xia, Yang, Liu, Bangwu, Xie, Jing, Lia, Nan, Zhang, Yanqing. Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique. APPLIEDSURFACESCIENCE[J]. 2014, 303: 111-117, http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.02.097.
[28] Lu WeiEr, Dong YaBin, Li ChaoBo, Xia Yang, Li Nan. Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2014, 29(4): 345-351, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000336887600002.
[29] 沈泽南, 刘邦武, 夏洋, 刘杰, 李超波, 刘金虎, 钟思华. 多晶黑硅材料及其太阳电池应用研究. 太阳能学报[J]. 2013, 34(5): 729-733,  http://www.wanfangdata.com.cn/details/detail.do?_type=perio&id=tynxb201305001.
[30] 李超波. ALD生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究. 物理学报. 2013, [31] 林永奔, 李勇滔, 李超波, 夏洋, 汪明刚, 陈焰. 基于PSS刻蚀平台的真空微气压控制研究. 光电工程[J]. 2013, 93-99, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=45141078.
[32] Lu, WeiEr, Zhang, YongLiang, Zheng, MeiLing, Jia, YanPeng, Liu, Jie, Dong, XianZi, Zhao, ZhenSheng, Li, ChaoBo, Xia, Yang, Ye, TianChun, Duan, XuanMing. Femtosecond direct laser writing of gold nanostructures by ionic liquid assisted multiphoton photoreduction. OPTICAL MATERIALS EXPRESS[J]. 2013, 3(10): 1660-1673, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092438.
[33] Zhang Xiang, Liu BangWu, Zhao Yan, Li ChaoBo, Xia Yang. Influence of annealing temperature on passivation performance of thermal atomic layer deposition Al2O3 films. CHINESE PHYSICS B[J]. 2013, 22(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000329565500064.
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[35] 邵长金, 何静, 刘邦武, 夏洋, 李超波. 黑硅材料的制备及其光学特性. 发光学报[J]. 2012, 33(12): 1357-1361, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=44275613.
[36] 杨威风, 汪明刚, 刘杰, 李超波, 夏洋, 高福宝. 腔室状态对图形化蓝宝石衬底刻蚀工艺的影响. 半导体技术[J]. 2012, 37(3): 216-220, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40999046.
[37] 刘邦武, 钟思华, 何静, 夏洋, 李超波. 液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能. 发光学报[J]. 2012, 33(11): 1264-1267, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43907999.
[38] 黄成强, 陈波, 李超波, 夏洋, 汪明刚, 饶志鹏. 基于图形化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展. 激光与光电子学进展[J]. 2012, 49(7): 070007-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42520354.
[39] 黄成强, 夏洋, 陈波, 李超波, 万军, 汪明刚, 饶志鹏, 李楠, 张祥. 图形化蓝宝石衬底工艺研究进展. 半导体技术[J]. 2012, 37(7): 497-503,581, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42508681.
[40] Luo Wei, Xie Jing, Zhang Yang, Li Chaobo, Xia Yang. Anodic bonding using a hybrid electrode with a two-step bonding process. 半导体学报[J]. 2012, 33(6): 066001-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42279664.
[41] 汪明刚, 杨威风, 李超波, 刘训春, 夏洋. Cl2/BCl3感应耦合等离子体GaN刻蚀侧壁形貌研究. 半导体技术[J]. 2012, 37(5): 367-370, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41921061.
[42] 张祥, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 刘杰, 沈泽南. A12o3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用. 物理学报[J]. 2012, 61(18): 187303-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43406301.
[43] Luo, Wei, Xie, Jing, Li, Chaobo, Zhang, Yang, Xia, Yang. High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation. NANOTECHNOLOGY[J]. 2012, 23(37): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000308810800007.
[44] 李浩, 田沛, 李超波, 夏洋, 屈芙蓉, 赵章琰. 基于LabVIEW的伺服电机寻原点策略的实现. 中国科技博览[J]. 2012, 119-120, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40506046.
[45] 孙小孟, 李勇滔, 夏洋, 李超波, 李英杰, 陈盛云, 赵章琰, 秦威. ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究. 现代电子技术[J]. 2012, 35(3): 202-203, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40863775.
[46] 汪明刚, 杨威风, 胡冬冬, 李超波, 夏洋. 图形化蓝宝石衬底技术综述. 激光与光电子学进展[J]. 2012, 49(8): 080005-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42729862.
[47] 王文东, 罗小晨, 李超波, 夏洋, 刘邦武. 等离子喷涂氧化钇涂层的组织结构. 金属热处理[J]. 2010, 16-18, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=35662130.
[48] 刘杰, 汪明刚, 杨威风, 李超波, 夏洋. 等离子体浸没离子注入技术与设备研究. 半导体技术[J]. 2010, 35(7): 626-629, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34586322.
[49] 刘邦武, 李超波, 李勇涛, 夏洋. InP/Si键合技术研究进展. 电子工艺技术[J]. 2010, 12-15, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=32886117.
[50] 汪明刚, 刘杰, 杨威风, 李超波, 夏洋. 等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究. 核聚变与等离子体物理[J]. 2010, 370-373, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2000015470.
[51] 史海涛, 欧毅, 陈大鹏, 张青川, 伍小平, 焦斌斌, 李超波, 罗小光, 由春娟. 基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状. 电子工业专用设备[J]. 2007, 36(1): 6-9, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=23805789.
[52] 刘茂哲, 景玉鹏, 李全宝, 焦斌斌, 黄钦文, 李超波, 欧毅, 陈大鹏, 叶甜春. 基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关. 电子工业专用设备[J]. 2007, 36(1): 15-17, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=23805791.
[53] 陈大鹏, 焦彬彬, 李超波, 石莎莉, 史海涛, 程腾, 张青川, 伍小平. 非制冷MEMS红外成像系统. 红外与激光工程[J]. 2007, 7-9, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1001092610.
[54] 缪正宇, 张青川, 伍小平, 陈大鹏, 郭哲颖, 董凤良, 熊志铭, 李超波, 焦斌斌. 光机械式红外探测器中镜面弯曲对探测灵敏度的影响. 实验力学[J]. 2007, 22(3): 350-358, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=25792018.
[55] 欧毅, 白宏磊, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波, 黄钦文, 董立军, 景玉鹏, 陈大鹏, 叶甜春, 申功. 应用于流动控制的MEMS传感器和执行器. 电子工业专用设备[J]. 2006, 35(1): 25-27, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21042064.
[56] 景玉鹏, 黄钦文, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波, 董立军, 杨清华, 欧毅, 陈大鹏, 叶甜春. 日本近年RF EMS开关研究的进展. 电子工业专用设备[J]. 2006, 35(1): 43-45, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21042068.
[57] 李超波, 焦斌斌, 石莎莉, 叶甜春, 陈大鹏, 张青川, 郭哲颖, 董凤良, 伍小平. 基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列. 半导体学报[J]. 2006, 27(1): 150-155, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21162938.
[58] 董立军, 陈大鹏, 欧毅, 黄钦文, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波, 杨清华, 叶甜春. MEMS中的簿膜制造技术. 电子工业专用设备[J]. 2006, 35(1): 39-42, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21042067.
[59] 郭哲颖, 张青川, 陈大鹏, 伍小平, 董凤良, 缪正宇, 熊志铭, 李超波, 李超波. 光学读出室温物体红外成像. 实验力学[J]. 2005, 20(2): 213-218, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=16099591.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年创新促进会优秀会员, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12
( 2 ) 光通信器件微纳3D打印系统研究, 主持, 省级, 2016-01--2017-12
( 3 ) 生物微流体芯片技术, 参与, 国家级, 2016-01--2018-12
( 4 ) 冷冻电镜中的先进纳米流道芯片研究, 参与, 部委级, 2017-07--2020-06
( 5 ) 高精密真空零部件研发, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12

指导学生

已指导学生

孙铁成  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

窦伟  硕士研究生  430110-集成电路工程  

邹志超  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

符庭钊  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

崔绍晖  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

刘丽花  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈峰岭  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学