基本信息
王敏锐  男  硕导  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
电子邮件： mrwang2007@sinano.ac.cn
通信地址： 江苏省苏州工业园区若水路398号
邮政编码： 215125

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080202-机械电子工程
招生方向
大功率LED
微镜、微陀螺MEMS器件
压电MEMS器件与系统

教育背景

2003-09--2006-12   大连理工大学   博士研究生
2000-09--2003-06   大连理工大学   硕士研究生
1996-09--2000-07   大连交通大学   本科

工作经历

   
工作简历
2013-01~现在, 中科院苏州纳米所, 研究员
2008-04~2012-12,苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 副研究员
2007-01~2008-03,中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 助理研究员
2003-09~2006-12,大连理工大学, 博士研究生
2000-09~2003-06,大连理工大学, 硕士研究生
1996-09~2000-07,大连交通大学, 本科

专利与奖励

   
专利成果
（ 1 ）  一种电磁驱动微镜, 2012, 第 1 作者, 专利号: 201210510380.4

（ 2 ） 深硅刻蚀方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201210307648.4

（ 3 ） 提高GaN外延材料质量的微纳米结构及其应用, 2011, 第 1 作者, 专利号: 201110064346.4

（ 4 ） 大功率LED多层梯度材料散热通道的构造方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: 200810025449

（ 5 ） 蓝宝石基新型倒装结构及其用途, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010165583.5

（ 6 ） 一种微型集成式热-紫外复合消解芯片, 2010, 第 2 作者, 专利号: 201010281765.0

（ 7 ） 集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列, 2010, 第 2 作者, 专利号: 200810025447.9

出版信息

   
发表论文
（1） Study of optical and electrical properties of Ag/ITO multi-layer transparent electrodes, KEY ENGINEERING MATEARIALS , 2012, 第 1 作者
（2） 压电驱动MEMS光学扫描镜的研制, 纳米技术与精密工程, 2012, 第 1 作者
（3） Comprehensive thermal characterization using ruby R fluorescence lines of sapphire and GaN E2-high Raman mode from Raman spectra in high-power flip-chip InGaN/GaN LEDs, J. Phys.D: Appl.Phys, 2011, 第 3 作者
（4） Influence of doping concentration on the properties of ZnO:Mn thin films by sol-gel method, Vacuum, 2007, 第 3 作者
（5） Effect of preheating and annealing temperatures on quality characteristics of ZnO thin film prepared by sol-gel method, Mater.Chem. Phys, 2006, 第 1 作者
（6） MEMS-based ZnO piezoelectric tactile sensor for minimally invasive surgery,  Rare Metal Mater. Eng., 2006, 第 1 作者
（7） Influence of Li+ dopants on the properties of the ZnO piezoelectric films, J. Mater. Sci, 2005, 第 1 作者
（8） Residual Stress Effect and Control of ZnO Thin Film used in Micro-force Sensor Chip, Proceedings of the third international symposium on instrumentation science and technology, 2004, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
（ 1 ） 基于硅玻璃键合的高性能电容式微惯性器件开发, 负责人, 其他国际合作项目, 2010-07--2012-12
（ 2 ） 用于水质现场检测的微型热-紫外复合快速消解方法研究, 参与, 国家任务, 2010-07--2013-06
（ 3 ） 纳米图形化直写, 负责人, 国家任务, 2012-01--2016-12
（ 4 ） 院现有关键技术人才, 负责人, 中国科学院计划, 2014-01--2017-12
（ 5 ） 类菲涅尔透镜蓝宝石图形化衬底, 负责人, 地方任务, 2012-01--2014-12
（ 6 ） 压电微扫描组合, 负责人, 研究所自主部署, 2014-01--2014-12
（ 7 ） 高效LED多芯片COB封装, 负责人, 地方任务, 2013-01--2014-12