基本信息
王守国 男 博导 中国科学院合肥物质科学研究院
电子邮件: wangshouguo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
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招生信息
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
常压等离子体应用
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 常压双介质阻挡边扁口型活性自由基清洗系统, 2010, 第 1 作者, 专利号: 200910249610.4( 2 ) 常压介质阻挡型活性自由基清洗系统, 2009, 第 1 作者, 专利号: 200910250335.8( 3 ) 常压等离子体自由基束流清洗硅片新方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: 200910250336.2( 4 ) 常压双介质阻挡扁口型活性自由基清洗设备, 2009, 第 1 作者, 专利号: 200920276042.2
出版信息
发表论文
(1) 纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用, 强激光与粒子束, 2010, 通讯作者(2) 常压宽间距辉光等离子体改性醋酸纤维, 材料科学与工程学报, 2010, 通讯作者(3) Reflection of Electronmagnetic Wave Using a Plasma Sheet, IEEE Transactions on Plsama Science, 2010, 通讯作者(4) Oxygen effects on a He/O2 plasma jet at atmospheric pressure, Trans. Plasma Sci, 2009, 第 1 作者(5) Flat panel display substrates by a uniform large area glow cold plasma tunnel at atmospheric pressure, Jpn. J. Appl Phys. , 2009, 第 1 作者(6) Plasma-induced direct graft on polytetrafluoroethylene films by quasi-glow discharge at atmospheric pressure, Plasma Processes and Polymers, 2009, 第 2 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 常压等离子体自由基清洗技术, 负责人, 国家任务, 2009-01--2012-03
参与会议
(1)Development of a 6.78 MHz Radio-Frequency Argon Plasma Jet Shou-Guo Wang, Ling-Li Zhao, Jing-Hua Yang, Shao-Xia Jia 2011-06-28