基本信息
夏洋  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: kjc@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
新原理装备技术
新型太阳能电池

教育背景

1995-09--1998-07   北京科技大学材料物理系   博士学位
1987-09--1990-07   北京科技大学材料物理系   硕士学位
1979-09--1983-07   北京大学物理系   学士学位

工作经历

   
工作简历
1998-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 仪器设备中心主任
1990-07~1995-09,北京航空材料研究院, 工程师
1983-09~1987-07,江西师范大学, 任教

教授课程

半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备
微电子技术系列讲座

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 朱李月华优秀教师奖, 院级, 2017
(2) 北京市科学进步奖, 三等奖, 市地级, 2017
(3) 中国电子学会科技奖, 一等奖, 市地级, 2017
(4) 中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016
(5) 27nmCMOS器件, 一等奖, 市地级, 2008
专利成果
[1] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107954A, 2022-03-01.
[2] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107948A, 2022-03-01.
[3] 吴朋桦, 卢维尔, 赵丽莉, 刘涛, 何萌, 屈芙蓉, 夏洋, 江雷, 吴雨辰, 孙冰朔, 李培源, 冷兴龙, 李楠. 基于柔性衬底的有机半导体阵列转移方法. CN: CN113830725A, 2021-12-24.
[4] 王玥, 张凌云, 王博雨, 陈楠, 冷兴龙, 刘涛, 李楠, 赵丽莉, 刘键, 景玉鹏, 何萌, 夏洋. 近红外傅里叶变换偏振光谱仪. CN: CN113804646A, 2021-12-17.
[5] 吴朋桦, 屈芙蓉, 夏洋, 江雷, 吴雨辰, 孙冰朔, 李楠, 李培源, 冷兴龙, 卢维尔, 赵丽莉, 刘涛, 何萌. 一种图案化有机半导体的制备方法及形变拉伸测试方法. CN: CN113772620A, 2021-12-10.
[6] 杨胜, 夏洋, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 刘涛, 赵丽莉, 何萌. 一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置. CN: CN113755822A, 2021-12-07.
[7] 张凌云, 刘涛, 王玥, 陈楠, 李磊, 王博雨, 冷兴龙, 赵丽莉, 李楠, 刘键, 景玉鹏, 何萌, 夏洋. 近场光学偏振光谱仪. CN: CN113739920A, 2021-12-03.
[8] 刘涛, 张凌云, 王玥, 陈楠, 李磊, 王博雨, 冷兴龙, 李楠, 赵丽莉, 景玉鹏, 刘键, 何萌, 夏洋. 反射式近场光学偏振光谱仪. CN: CN113739919A, 2021-12-03.
[9] 王博雨, 刘涛, 张凌云, 王玥, 陈楠, 冷兴龙, 李楠, 赵丽莉, 刘键, 景玉鹏, 何萌, 夏洋. 保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪. CN: CN113739918A, 2021-12-03.
[10] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种图形转移方法. CN: CN113707541A, 2021-11-26.
[11] 明帅强, 李楠, 赵丽莉, 何萌, 卢维尔, 夏洋, 文庆涛, 高雅增, 冷兴龙, 李培源, 屈芙蓉, 刘涛. 一种碘化亚铜薄膜的制备方法. CN: CN113699506A, 2021-11-26.
[12] 明帅强, 赵丽莉, 李楠, 何萌, 卢维尔, 夏洋, 高雅增, 文庆涛, 李培源, 冷兴龙, 刘涛, 屈芙蓉. 一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法. CN: CN113699505A, 2021-11-26.
[13] 刘键, 夏洋, 吴茹菲, 李勇滔. 一种微透镜阵列的制备方法. CN: CN113687452A, 2021-11-23.
[14] 文庆涛, 卢维尔, 夏洋. 中心结构制备方法、X射线波带片制备方法及X射线波带片. CN: CN113643839A, 2021-11-12.
[15] 高雅增, 卢维尔, 文庆涛, 夏洋, 李楠, 赵丽莉. 一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置. CN: CN113625379A, 2021-11-09.
[16] 孙冰朔, 屈芙蓉, 吴朋桦, 夏洋, 李培源. 一种薄膜沉积系统检测装置及方法. CN: CN113624791A, 2021-11-09.
[17] 王蕾, 卢维尔, 明帅强, 夏洋, 赵丽莉, 李楠, 冷兴龙, 何萌. 一种铝掺杂氧化镓膜及其制备方法. CN: CN113621942A, 2021-11-09.
[18] 吴朋桦, 屈芙蓉, 孙冰朔, 夏洋, 李楠, 赵丽莉, 冷兴龙, 李磊. 一种有机半导体材料的阵列制备方法. CN: CN113620236A, 2021-11-09.
[19] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种氮化铝薄膜的制备方法. CN: CN113488565A, 2021-10-08.
[20] 杨胜, 夏洋, 卢维尔, 刘涛. 一种集成镀膜设备的样品传输装置. CN: CN113445015A, 2021-09-28.
[21] 李磊, 刘涛, 张明烨, 王玥, 冷兴龙, 张凌云, 李楠, 赵丽莉, 何萌, 夏洋. 一种石英晶体谐振器的加工方法及装置. CN: CN113452335A, 2021-09-28.
[22] 尹彬, 张庆钊, 夏洋. 一种监测原子层沉积薄膜生长厚度的方法. CN: CN113029070A, 2021-06-25.
[23] 卢维尔, 明帅强, 夏洋, 冷兴龙, 赵丽莉, 何萌, 李楠. 一种高温原子层沉积装置和方法. CN: CN112899653A, 2021-06-04.
[24] 卢维尔, 明帅强, 夏洋. 一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法. CN: CN112899652A, 2021-06-04.
[25] 明帅强, 卢维尔, 夏洋, 李楠, 冷兴龙, 何萌, 赵丽莉. 一种Ag 2 S薄膜的制备方法. CN: CN112899654A, 2021-06-04.
[26] 明帅强, 卢维尔, 夏洋, 何萌, 冷兴龙, 李楠, 赵丽莉. 一种薄膜材料结晶的装置和方法. CN: CN112899655A, 2021-06-04.
[27] 卢维尔, 明帅强, 夏洋. 一种基于乙酰丙酮银制备Ag 2 S薄膜的方法. CN: CN112899646A, 2021-06-04.
[28] 卢维尔, 明帅强, 夏洋, 李楠, 赵丽莉. 一种处理Ag 2 S薄膜的方法. CN: CN112899645A, 2021-06-04.
[29] 李楠, 陈波, 李培源, 夏洋, 卢维尔. 一种短脉冲激光沉积薄膜的制备方法. CN: CN112853278A, 2021-05-28.
[30] 陈波, 李楠, 李培源, 夏洋. 一种沉积碳化硅薄膜的方法. CN: CN112825299A, 2021-05-21.
[31] 孙冰朔, 屈芙蓉, 吴朋桦, 夏洋, 李培源, 冷兴龙. 一种制备薄膜材料的样品台和方法. CN: CN112824560A, 2021-05-21.
[32] 陈波, 李楠, 李培源, 夏洋. 一种低温沉积硅碳氮氧分子薄膜的方法. CN: CN112824559A, 2021-05-21.
[33] 孙冰朔, 屈芙蓉, 吴朋桦, 夏洋, 李培源, 冷兴龙. 一种用于原子层沉积的样品台和方法. CN: CN112824561A, 2021-05-21.
[34] 席峰, 胡冬冬, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种进气结构. CN: CN212980552U, 2021-04-16.
[35] 文庆涛, 卢维尔, 赵丽莉, 夏洋. 一种菲涅耳波带片的制备方法及菲涅耳波带片. CN: CN112558206A, 2021-03-26.
[36] 文庆涛, 卢维尔, 夏洋, 李楠, 赵丽莉, 冷兴龙, 何萌. 一种菲涅耳波带片的中心结构的制作方法及波带片. CN: CN112558205A, 2021-03-26.
[37] 节喜, 卢维尔, 李楠, 夏洋. 一种转移金属基底上石墨烯薄膜的方法. CN: CN112551517A, 2021-03-26.
[38] 节喜, 卢维尔, 夏洋. 一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法. CN: CN112551516A, 2021-03-26.
[39] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN112376029A, 2021-02-19.
[40] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种异质结太阳能电池及其制备方法. CN: CN107946470B, 2021-01-12.
[41] 王欢, 李超波, 路鑫超, 刘虹遥, 夏洋. 一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法. CN: CN107150996B, 2020-07-21.
[42] 王延伟, 卢维尔, 闫美菊, 赵丽莉, 夏洋. 一种化学气相沉积的样品放置装置及管式炉. CN: CN111379020A, 2020-07-07.
[43] 解婧, 屈芙蓉, 邢建鹏, 刘金虎, 李超波, 夏洋. 一种微流道网络芯片. CN: CN110961167A, 2020-04-07.
[44] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN107379528B, 2020-04-07.
[45] 王欢",null,null,"李超波. 一种3D打印装置. CN: CN107379528B, 2020-04-07.
[46] 卢维尔, 夏洋. 一种场发射阴极电子源及其阵列. CN: CN110875165A, 2020-03-10.
[47] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光装置. CN: CN107154366B, 2020-01-21.
[48] 张永奎, 朱慧珑, 卢维尔, 夏洋, 李琳, 郭晓龙, 尹晓艮, 文庆涛. 一种刻蚀装置及刻蚀方法. CN: CN110581095A, 2019-12-17.
[49] 关彦涛, 解婧, 屈芙蓉, 李楠, 赵丽莉, 夏洋. 一种石墨烯选取刻蚀的方法及装置. CN: CN110548996A, 2019-12-10.
[50] 解婧, 屈芙蓉, 关彦涛, 夏洋, 李楠, 赵莉丽. 一种石墨烯薄膜材料的加工方法. CN: CN110550624A, 2019-12-10.
[51] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池及其制备方法. CN: CN108172657B, 2019-10-22.
[52] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法. CN: CN109850882A, 2019-06-07.
[53] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种石墨的制备方法. CN: CN109851358A, 2019-06-07.
[54] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机. CN: CN208674055U, 2019-03-29.
[55] 闫美菊, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种中心柱形玻璃光纤的制备方法. CN: CN109336418A, 2019-02-15.
[56] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种石墨烯单晶的制备方法. CN: CN109321973A, 2019-02-12.
[57] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种场发射阴极电子源、阵列及电子发射方法. CN: CN109300750A, 2019-02-01.
[58] 席峰, 王佳, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种激光检测装置. CN: CN108519113A, 2018-09-11.
[59] 彭明娣, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉, 李楠. 一种脉冲激光沉积装置及其方法. CN: CN108342697A, 2018-07-31.
[60] 王胜涛, 卢维尔, 夏洋. 一种X射线波带片制备系统. CN: CN108300980A, 2018-07-20.
[61] 陈波, 李楠, 夏洋, 饶晓雯. 一种半导体基片的处理方法及装置. CN: CN108242414A, 2018-07-03.
[62] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种去除基片刻蚀后残余物的方法及装置. CN: CN108242388A, 2018-07-03.
[63] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于减薄半导体基片的装置及方法. CN: CN108242413A, 2018-07-03.
[64] 程嵩, 卢维尔, 夏洋, 李楠, 李超波, 张庆钊. 一种P型氧化锌薄膜制备装置及方法. CN: CN108070843A, 2018-05-25.
[65] 解婧, 卢维尔, 屈芙蓉, 李楠, 王欢, 赵丽莉, 邢建鹏, 李超波, 夏洋. 一种MOS器件原子层沉积原位制备方法. CN: CN108063089A, 2018-05-22.
[66] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种半导体上纳米级尺寸光刻胶的剥离方法. CN: CN107665810A, 2018-02-06.
[67] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频连接装置. GB: CN107431262A, 2017-12-01.
[68] 张思敏, 夏洋, 卢维尔, 程嵩, 李楠. 一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法. CN: CN107400920A, 2017-11-28.
[69] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN107379528A, 2017-11-24.
[70] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波. 一种3D打印装置. CN: CN107283835A, 2017-10-24.
[71] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种光纤夹具及光纤固定方法. CN: CN107272136A, 2017-10-20.
[72] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种基片清洗方法及装置. CN: CN107154340A, 2017-09-12.
[73] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光装置. CN: CN107154366A, 2017-09-12.
[74] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光方法及装置. CN: CN107154351A, 2017-09-12.
[75] 王欢, 李超波, 路鑫超, 刘虹遥, 夏洋. 一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法. CN: CN107150996A, 2017-09-12.
[76] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种利用臭氧清洗基片的方法及装置. CN: CN107154339A, 2017-09-12.
[77] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN107123753A, 2017-09-01.
[78] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN106891005A, 2017-06-27.
[79] 夏洋. 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法. CN: CN106744860A, 2017-05-31.
[80] 卢维尔, 程嵩, 夏洋, 李楠. 一种可变电场调制的远程等离子体原子层沉积系统. CN: CN106756885A, 2017-05-31.
[81] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 李楠, 李超波. 一种变电场原子层沉积系统的控制方法. CN: CN106756886A, 2017-05-31.
[82] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 张庆钊, 王欢, 李楠. 一种石墨烯化学修饰方法. CN: CN106783560A, 2017-05-31.
[83] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106788245A, 2017-05-31.
[84] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106603010A, 2017-04-26.
[85] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置. CN: CN106531613A, 2017-03-22.
[86] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置. CN: CN106525883A, 2017-03-22.
[87] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于半导体基片兆声波清洗装置. CN: CN106391557A, 2017-02-15.
[88] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种刻蚀半导体基片的方法及装置. CN: CN106409672A, 2017-02-15.
[89] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体注入装置. CN: CN103165382B, 2016-06-29.
[90] 胡冬冬, 郜晨希, 李超波, 夏洋. 一种半导体设备进气装置. CN: CN105702600A, 2016-06-22.
[91] 陈波, 李楠, 夏洋. 循环供液桶. CN: CN105620879A, 2016-06-01.
[92] 王文东, 夏洋, 刘金虎. 一种应用于铝基基材的Y 3 Al 5 O 12 涂层的制备方法. CN: CN105624602A, 2016-06-01.
[93] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN105568229A, 2016-05-11.
[94] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种承片台. CN: CN105225999A, 2016-01-06.
[95] 夏洋, 李超波, 解婧, 罗巍, 张阳. 石墨烯晶片的制备方法. CN: CN103204493B, 2015-09-30.
[96] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931B, 2015-09-23.
[97] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 交替结构薄膜封装层界面的处理方法. CN: CN104752634A, 2015-07-01.
[98] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN104746036A, 2015-07-01.
[99] 刘杰, 刘键",null,"屈芙蓉, 李超波. 一种薄膜封装方法. CN: CN104752633A, 2015-07-01.
[100] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法. CN: CN104711504A, 2015-06-17.
[101] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼梯度涂层及其制备方法. CN: CN104711503A, 2015-06-17.
[102] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳化硅薄膜的制备方法. CN: CN104498897A, 2015-04-08.
[103] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888075A, 2014-06-25.
[104] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888076A, 2014-06-25.
[105] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装系统. CN: CN203659835U, 2014-06-18.
[106] 刘杰, 刘键",null,"屈芙蓉, 李超波. 一种PECVD系统. CN: CN203653697U, 2014-06-18.
[107] 解婧, 李超波, 夏洋. 利用原子层沉积制备薄膜的方法. CN: CN103866285A, 2014-06-18.
[108] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氧化锌薄膜的制备方法. 中国: CN103866284A, 2014-06-18.
[109] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氮化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866263A, 2014-06-18.
[110] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种原位光学检测装置. CN: CN103868850A, 2014-06-18.
[111] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于N-Zr共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866267A, 2014-06-18.
[112] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 解婧, 董亚斌. 基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866268A, 2014-06-18.
[113] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 解婧. 一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866289A, 2014-06-18.
[114] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN103866394A, 2014-06-18.
[115] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 用于施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866271A, 2014-06-18.
[116] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 李楠. 原子层沉积制备Te-N共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866269A, 2014-06-18.
[117] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866273A, 2014-06-18.
[118] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 李楠. 原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866276A, 2014-06-18.
[119] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 石莎莉. 用于增加原子层沉积前驱体数量的方法. CN: CN103866278A, 2014-06-18.
[120] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866275A, 2014-06-18.
[121] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866270A, 2014-06-18.
[122] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866280A, 2014-06-18.
[123] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866277A, 2014-06-18.
[124] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 董亚斌. 原子层沉积制备N-As共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866279A, 2014-06-18.
[125] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法. CN: CN103866272A, 2014-06-18.
[126] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866265A, 2014-06-18.
[127] 张阳, 卢维尔, 董亚斌, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866264A, 2014-06-18.
[128] 张阳, 董亚斌, 卢维尔, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866266A, 2014-06-18.
[129] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN103855911A, 2014-06-11.
[130] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN103855910A, 2014-06-11.
[131] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种射频电源外部输入信号相位同步的方法. CN: CN103856214A, 2014-06-11.
[132] 李勇滔, 孙小孟, 李英杰, 夏洋, 王文东. 可实现快速阻抗匹配的射频电源系统. CN: CN103619117A, 2014-03-05.
[133] 刘涛, 王林梓, 李国光, 夏洋, 艾迪格·基尼欧, 马铁中. 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法. CN: CN103575703A, 2014-02-12.
[134] 吴文镜, 王林梓, 李国光, 刘涛, 夏洋, 马铁中. 太阳能基板薄膜多任务测量系统. CN: CN103575222A, 2014-02-12.
[135] 解婧, 张阳, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种绝缘体上二维薄膜材料的制备方法. CN: CN103570001A, 2014-02-12.
[136] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李晓波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068B, 2014-01-29.
[137] 王文东, 刘邦武, 黄春, 夏洋. 一种低压等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103540889A, 2014-01-29.
[138] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种半导体设备中黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层制造方法. 中国: CN103132003A, 2013.06.05.
[139] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种超音速等离子体喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074566A, 2013.05.01.
[140] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205806A, 2013-07-17.
[141] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法. CN: CN103205729A, 2013-07-17.
[142] 夏洋",null,null,"李超波. 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN103205730A, 2013-07-17.
[143] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN203071795U, 2013-07-17.
[144] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种载片台. CN: CN103208409A, 2013-07-17.
[145] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 腔室加热装置. CN: CN103208440A, 2013-07-17.
[146] 胡冬冬, 周宗义, 刘训春, 夏洋. 真空隔离阀装置. CN: CN103206552A, 2013-07-17.
[147] 夏洋, 李超波, 解婧, 罗巍, 张阳. 石墨烯晶片的制备方法. CN: CN103204493A, 2013-07-17.
[148] 饶志鹏, 夏洋, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205805A, 2013-07-17.
[149] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194714A, 2013-07-10.
[150] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y 3 Al 5 O 12 涂层的方法. CN: CN103194715A, 2013-07-10.
[151] 王文东, 闫坤坤, 黄春, 刘邦武, 夏洋. 一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194716A, 2013-07-10.
[152] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y 3 Al 5 O 12 涂层的方法. 中国: CN103194715A, 2013-07-10.
[153] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种气体分配器及原子层沉积设备. CN: CN103194736A, 2013-07-10.
[154] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种用于原子层沉积设备的气体分配器. CN: CN103194737A, 2013-07-10.
[155] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 吴文镜, 王林梓, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103185638A, 2013-07-03.
[156] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304696B, 2013-07-03.
[157] 张阳, 解婧, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法. CN: CN103172053A, 2013-06-26.
[158] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162832A, 2013-06-19.
[159] 李国光, 吴文镜, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162831A, 2013-06-19.
[160] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法. CN: CN103165488A, 2013-06-19.
[161] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165382A, 2013-06-19.
[162] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN103160802A, 2013-06-19.
[163] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法. CN: CN103160807A, 2013-06-19.
[164] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165383A, 2013-06-19.
[165] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN103165489A, 2013-06-19.
[166] 屈芙蓉, 李超波, 陈瑶, 夏洋. 一种等离子体腔室内衬结构. CN: CN103165379A, 2013-06-19.
[167] 刘杰, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种等离子体浸没注入电极结构. CN: CN103165377A, 2013-06-19.
[168] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法. CN: CN103165378A, 2013-06-19.
[169] 李超波, 夏洋, 屈芙蓉, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 赵丽莉. 一种等离子体浸没注入装置. CN: CN103165376A, 2013-06-19.
[170] 汪明刚, 李超波, 夏洋. 用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法. CN: CN103165372A, 2013-06-19.
[171] 李超波, 汪明刚, 夏洋. 一种控制注入结深度的方法. CN: CN103165423A, 2013-06-19.
[172] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置. CN: CN103165371A, 2013-06-19.
[173] 李超波, 屈芙蓉, 陈瑶, 刘传钦, 夏洋. 半导体腔室用压片装置. CN: CN103165375A, 2013-06-19.
[174] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频功率放大模块及具有散热风道的大功率射频电源. CN: CN103166580A, 2013-06-19.
[175] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种低压等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132007A, 2013-06-05.
[176] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种等离子氢处理制备黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132006A, 2013-06-05.
[177] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种等离子氢处理制备黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. CN: CN103132006A, 2013-06-05.
[178] 罗巍, 解婧, 张阳, 李超波, 夏洋. 一种晶圆级阳极键合方法. CN: CN103130180A, 2013-06-05.
[179] 屈芙蓉, 胡冬冬, 刘训春, 刘杰, 李超波, 夏洋. 一种进气装置. CN: CN103137521A, 2013-06-05.
[180] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种三阴极等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. CN: CN103132004A, 2013-06-05.
[181] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种低压等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. CN: CN103132007A, 2013-06-05.
[182] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的制备方法. CN: CN103132002A, 2013-06-05.
[183] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的改进方法. CN: CN103132001A, 2013-06-05.
[184] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103132001A, 2013-06-05.
[185] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种半导体设备中黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层制造方法. CN: CN103132003A, 2013-06-05.
[186] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种三阴极等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103132004A, 2013-06-05.
[187] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103132002A, 2013-06-05.
[188] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 具有精密功率检测器的射频电源. CN: CN103137408A, 2013-06-05.
[189] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于ARM的嵌入式注入机控制系统. CN: CN103137410A, 2013-06-05.
[190] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波. 离子注入机. CN: CN103137447A, 2013-06-05.
[191] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 模块化离子注入机控制系统. CN: CN103137412A, 2013-06-05.
[192] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于虚拟仪器的注入机控制系统. CN: CN103135509A, 2013-06-05.
[193] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机控制系统. CN: CN103137413A, 2013-06-05.
[194] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种电路单元. CN: CN103138688A, 2013-06-05.
[195] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN202949378U, 2013-05-22.
[196] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. 准互补电压开关型D类功放同时导通的保护方法及电路. CN: CN103107781A, 2013-05-15.
[197] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. D类射频功率放大电路. CN: CN103107784A, 2013-05-15.
[198] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 秦威, 夏洋. 一种传输线自动阻抗匹配系统. CN: CN103107793A, 2013-05-15.
[199] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种原子层沉积设备. CN: CN103103497A, 2013-05-15.
[200] 王文东, 罗小晨, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. CN: CN103074568A, 2013-05-01.
[201] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103074563A, 2013-05-01.
[202] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种超音速等离子体喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. CN: CN103074566A, 2013-05-01.
[203] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种水稳等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. CN: CN103074567A, 2013-05-01.
[204] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种改进性能的Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074562A, 2013-05-01.
[205] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种真空等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074564A, 2013-05-01.
[206] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种水稳等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074567A, 2013-05-01.
[207] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种真空等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. CN: CN103074564A, 2013-05-01.
[208] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法. CN: CN103074563A, 2013-05-01.
[209] 王文东, 罗小晨, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074568A, 2013-05-01.
[210] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种改进性能的Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. CN: CN103074562A, 2013-05-01.
[211] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高效率射频电源的相位同步电路. CN: CN103067001A, 2013-04-24.
[212] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 秦威, 夏洋. 低噪声的开关电源变压器及低噪声开关电源. CN: CN103065773A, 2013-04-24.
[213] 杨进, 徐维江, 李勇滔, 夏洋. 一种用于匹配器设备的空气电容结构. CN: CN103065791A, 2013-04-24.
[214] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种利用ALD制备栅介质结构的方法. CN: CN103065955A, 2013-04-24.
[215] 席峰, 王佳, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种电极引入结构. CN: CN103065918A, 2013-04-24.
[216] 席峰, 胡冬冬, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种进气结构及等离子体工艺设备. CN: CN103068137A, 2013-04-24.
[217] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备. CN: CN103046029A, 2013-04-17.
[218] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种防回流的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046024A, 2013-04-17.
[219] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于可伸缩腔室的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046022A, 2013-04-17.
[220] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于高精度PID控制温度的原子层沉积设备. CN: CN103046028A, 2013-04-17.
[221] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046030A, 2013-04-17.
[222] 刘涛, 李国光, 赵江艳, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103048047A, 2013-04-17.
[223] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103031546A, 2013-04-10.
[224] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种安全性高的原子层沉积设备. CN: CN103031532A, 2013-04-10.
[225] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可快速处理数据的原子层沉积设备. CN: CN103031544A, 2013-04-10.
[226] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可实时数据处理的原子层沉积设备. CN: CN103031533A, 2013-04-10.
[227] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种沉积室容积可调节的原子层沉积设备. CN: CN103031545A, 2013-04-10.
[228] 孙小孟, 李勇滔, 赵章琰, 李英杰, 秦威, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN103025041A, 2013-04-03.
[229] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023331A, 2013-04-03.
[230] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 快速精密射频自动匹配装置. CN: CN103021774A, 2013-04-03.
[231] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023328A, 2013-04-03.
[232] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931A, 2013-04-03.
[233] 罗巍, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种多层石墨烯的减薄方法. CN: CN102931055A, 2013-02-13.
[234] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN102891660A, 2013-01-23.
[235] 王佳, 刘训春, 席峰, 夏洋. 一种真空腔内转动部件的定位装置. CN: CN102881547A, 2013-01-16.
[236] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种可视化射频阻抗匹配器. CN: CN102883517A, 2013-01-16.
[237] 陈鲁, 夏洋, 张超前, 张学一. LED光学特性检测方法及检测装置. CN: CN102865999A, 2013-01-09.
[238] 夏洋, 沈泽南, 刘邦武, 李超波, 李勇滔. 一种太阳能电池正面栅线电极的制备方法. CN: CN102769064A, 2012-11-07.
[239] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 一种测量涂层耐腐蚀性能的方法. CN: CN102735601A, 2012-10-17.
[240] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN202487543U, 2012-10-10.
[241] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN202384293U, 2012-08-15.
[242] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种制备金属氮化物阻挡层的装置及其使用方法. CN: CN102623311A, 2012-08-01.
[243] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种阻挡层及其制备方法. CN: CN102623435A, 2012-08-01.
[244] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种扩散阻挡层及其制备方法. CN: CN102623434A, 2012-08-01.
[245] 夏洋, 李超波, 陈波, 万军, 吕树玲, 马舒. 原子层薄膜沉积系统. CN: CN301977404S, 2012-07-04.
[246] 席峰, 王佳, 刘训春. 一种激光检测装置. CN: CN102506712A, 2012-06-20.
[247] 屈芙蓉, 李楠, 李超波, 夏洋, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入机. CN: CN301914763S, 2012-05-16.
[248] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统机柜. CN: CN301914735S, 2012-05-16.
[249] 刘涛, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置. CN: CN102455511A, 2012-05-16.
[250] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种用于进气结构的匀气盘. CN: CN102437002A, 2012-05-02.
[251] 夏洋, 刘邦武, 钟思华, 李超波, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池表面的钝化方法. CN: CN102437236A, 2012-05-02.
[252] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种新型匀气结构. CN: CN102424955A, 2012-04-25.
[253] 席峰. 一种进气结构. CN: CN102420120A, 2012-04-18.
[254] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统工艺腔室. CN: CN301890737S, 2012-04-18.
[255] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 一种离子注入剂量检测控制方法. CN: CN102376519A, 2012-03-14.
[256] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. CN: CN102376520A, 2012-03-14.
[257] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮碳纳米管的制备方法. CN: CN102352490A, 2012-02-15.
[258] 夏洋",null,null,null,"李超波. 一种石墨的制备方法. CN: CN102344134A, 2012-02-08.
[259] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种离子中性化网板. CN: CN102339715A, 2012-02-01.
[260] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束装置及方法. CN: CN102332384A, 2012-01-25.
[261] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种用于离子中性化的网板结构. CN: CN102332385A, 2012-01-25.
[262] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102321919A, 2012-01-18.
[263] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳纳米管的制备方法. CN: CN102321876A, 2012-01-18.
[264] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频电源(RFG-300). CN: CN301794248S, 2012-01-11.
[265] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068A, 2012-01-11.
[266] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN102312210A, 2012-01-11.
[267] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304697A, 2012-01-04.
[268] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波. 一种碳化硅薄膜的制备方法. CN: CN102304701A, 2012-01-04.
[269] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种电极固定结构. CN: CN102306602A, 2012-01-04.
[270] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN102304700A, 2012-01-04.
[271] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种发射极上黑硅结构的太阳能电池及其制备方法. CN: CN102306664A, 2012-01-04.
[272] 刘邦武, 王文东, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体刻蚀工艺腔室内表面的改性处理方法. CN: CN102296263A, 2011-12-28.
[273] 刘杰, 汪明刚",null,"李超波. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN102296276A, 2011-12-28.
[274] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 基片离子均匀注入的方法. CN: CN102296275A, 2011-12-28.
[275] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种非金属真空腔室结构. CN: CN102290313A, 2011-12-21.
[276] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束的装置及方法. CN: CN102290314A, 2011-12-21.
[277] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种平板电极固定结构. CN: CN102290312A, 2011-12-21.
[278] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 黄成强, 刘键, 石莎莉, 李勇滔. 一种异质结黑硅太阳能电池的制备方法. CN: CN102290496A, 2011-12-21.
[279] 刘邦武, 夏洋, 刘杰, 李超波, 李勇滔, 王文东, 汪明刚. 一种发光多孔硅的制备方法. CN: CN102259875A, 2011-11-30.
[280] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 基于E类功率放大电路的固态射频电源. CN: CN102255606A, 2011-11-23.
[281] 吴文镜, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 可二维微调的微型电动平移台. CN: CN102243357A, 2011-11-16.
[282] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频电源(RFG-500). CN: CN301728088S, 2011-11-16.
[283] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 沈泽南. 一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法. CN: CN102140697A, 2011-08-03.
[284] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102115878A, 2011-07-06.
[285] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种PECVD系统. CN: CN102086514A, 2011-06-08.
[286] 夏洋, 饶志鹏, 刘键. 一种单原子层石墨烯薄膜的制备方法. CN: CN102051592A, 2011-05-11.
[287] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉. 在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置. CN: CN102021524A, 2011-04-20.
[288] 刘键, 饶志鹏, 夏洋, 石莎莉. 一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法. CN: CN102011103A, 2011-04-13.
[289] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN201785482U, 2011-04-06.
[290] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶. 一种黑硅钝化方法. CN: CN101993081A, 2011-03-30.
[291] 刘键, 饶志鹏, 夏洋, 石莎莉. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN101985744A, 2011-03-16.
[292] 夏洋, 饶志鹏, 刘键. 一种单原子层石墨烯薄膜的制备方法. CN: CN101979315A, 2011-02-23.
[293] 夏洋, 饶志鹏, 刘键. 一种用于原子层沉积制备石墨烯薄膜的碳化学吸附方法. CN: CN101979707A, 2011-02-23.
[294] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种浅结太阳能电池及其制备方法. CN: CN101976695A, 2011-02-16.
[295] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. CN: CN201741661U, 2011-02-09.
[296] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种多孔结构的衬底及其制备方法. CN: CN101964367A, 2011-02-02.
[297] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种原位制备太阳能电池的方法. CN: CN101950779A, 2011-01-19.
[298] 吴文镜, 李国光, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 一种器件内置式平移台. CN: CN101950061A, 2011-01-19.
[299] 吴文镜. 一种器件内置式平移台. CN: CN101950061A, 2011-01-19.
[300] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种原位制备掺杂黑硅的方法. CN: CN101950777A, 2011-01-19.
[301] 吴文镜, 艾迪格.基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 一种微型光学器件平移机构. CN: CN101922539A, 2010-12-22.
[302] 李超波, 刘杰, 李超波, 夏洋. 一种等离子体浸没注入装置. CN: CN101922046A, 2010-12-22.
[303] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 利用等离子体浸没离子注入制备黑硅的方法. CN: CN101880914A, 2010-11-10.
[304] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉. 一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置. CN: CN101847559A, 2010-09-29.
[305] 李超波, 夏洋, 汪明刚, 刘杰, 陈瑶, 赵丽莉. 采用非自限制生长机理沉积纳米叠层复合薄膜的方法. CN: CN101798682A, 2010-08-11.
[306] 于进勇, 刘新宇, 金智, 程伟, 夏洋. 一种引出亚微米HBT发射极/HEMT栅的方法. CN: CN100580898C, 2010-01-13.
[307] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉. 用于检测等离子体浸没注入剂量的法拉第杯. CN: CN101615578A, 2009-12-30.
[308] 于进勇, 刘新宇, 金智, 程伟, 夏洋. 一种制作异质结双极型晶体管的方法. CN: CN101447428A, 2009-06-03.
[309] 宋李梅, 王文博, 王晓慧, 杜寰, 夏洋. 一种用于场致发射平板显示的驱动集成电路和装置. CN: CN101430854A, 2009-05-13.
[310] 黄苒, 夏洋, 杜寰, 赵毅, 王晓慧, 韩郑生, 潘国顺. 一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法. CN: CN101393891A, 2009-03-25.
[311] 于进勇, 金智, 程伟, 刘新宇, 夏洋. 亚微米HBT发射极/HEMT栅空气桥引出的方法. CN: CN101330009A, 2008-12-24.
[312] 于进勇, 金智, 程伟, 刘新宇, 夏洋. 一种制作T型HBT发射极/HEMT栅的方法. CN: CN101330010A, 2008-12-24.
[313] 于进勇, 金智, 程伟, 刘新宇, 夏洋. 一种利用光敏胶层制作空气桥的方法. CN: CN101276778A, 2008-10-01.
[314] 宋李梅, 李桦, 海潮和, 杜寰, 夏洋. 与标准CMOS工艺兼容的HVCMOS双栅氧制备工艺. CN: CN100411143C, 2008-08-13.
[315] 于进勇, 刘新宇, 夏洋. 磷化铟异质结双极型晶体管自对准发射极的制作方法. 中国: CN101093803, 2007-12-26.
[316] 宋李梅, 李桦, 海潮和, 杜寰, 夏洋. 与标准互补金属氧化物半导体工艺兼容的高压互补金属氧化物半导体双栅氧制备工艺. CN: CN1873954A, 2006-12-06.
[317] 解婧, 李超波, 夏洋. 利用原子层沉积制备薄膜的方法. KR: CN1200135C, 2005-05-04.

出版信息

   
发表论文
[1] safdar smehmood, 夏洋, 屈芙蓉, 何萌. Investigating the Performance of Efficient and Stable Planer Perovskite Solar Cell with an Effective Inorganic Carrier Transport Layer Using SCAPS-1D Simulation. Energies[J]. 2023, [2] 宋肖枫, 陈焰, 明帅强, 夏洋. 基于云服务器的原子层沉积远程监控系统设计. 现代电子技术. 2023, 46(7): 155-160, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7109293318.
[3] 肖帅兵, 夏洋, 周兰江, 明帅强. 改进PSO-PID神经网络在精馏塔温度控制中的应用. 化工自动化及仪表. 2023, 50(4): 447-452, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7110087086.
[4] 闫恒彬, 陈焰, 明帅强, 夏洋. 红外加热吸附反应外延系统的温度均匀性研究. 激光与红外[J]. 2023, 53(3): 377-385, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7109316599.
[5] Nan, Chen, Yue, Wang, Yang, Xia, Tao, Liu. Broadband Near-Field Near-Infrared Spectroscopy and Imaging with a Laser-Driven Light Source. PHOTONICS[J]. 2022, 9(2): http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000764779800001.
[6] 明帅强, 王浙加, 吴鹿杰, 冯嘉恒, 高雅增, 卢维尔, 夏洋. 原子层沉积法制备SnO_(2)薄膜及其对钙钛矿电池性能的影响. 材料导报[J]. 2022, 36(7): 122-127, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106868997.
[7] 李磊, 张明烨, 冷兴龙, 张凌云, 夏洋, 刘涛. Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析. 传感器与微系统. 2022, 41(10): 5-9, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/cgqjs202210002.
[8] 王玥, 陈楠, 王博雨, 刘涛, 夏洋. 基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统. 光谱学与光谱分析[J]. 2022, 42(6): 1666-1673, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107282635.
[9] Wu Lujie, Wen Qingtao, Gao Yazeng, Lu Weier, Xia Yang, Li Yanli, Kong Xiangdong, Han Li. Investigation on the Preparation of High Precision Multilayer X ray Fresnel Zone Plates Based on Atomic Layer Deposition Technology. ACTA PHOTONICA SINICA[J]. 2021, 50(1): [10] 陈楠, 王玥, 刘涛, 夏洋. 散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试. 光子学报[J]. 2021, 50(11): 195-203, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106124636.
[11] Chen Nan, Wang Yue, Wang Boyu, Xia Yang, Liu Tao. Research on Numerical Model of Nano-FTIR System Based on COMSOL. SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS[J]. 2021, 41(4): 1125-1130, http://dx.doi.org/10.3964/j.issn.1000-0593(2021)04-1125-06.
[12] 夏洋. 基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型. 光谱学与光谱分析. 2021, [13] 夏洋. 基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统. 光谱学与光谱分析. 2021, [14] 吴鹿杰, 文庆涛, 高雅增, 卢维尔, 夏洋, 李艳丽, 孔祥东, 韩立. 基于原子层沉积技术的高精度多层膜X射线菲涅尔波带片的制备研究. 光子学报[J]. 2021, 50(1): 164-172, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7103907603.
[15] Liu, Jinglan, Zhang, Xuewei, Zhang, Shuai, Zou, Zhenxing, Zhang, Zilong, Wu, Zehao, Xia, Yang, Li, Qunyang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Sequential growth and twisted stacking of chemical-vapor-deposited graphene. NANOSCALE ADVANCES[J]. 2021, 3(4): 983-990, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000620729100007.
[16] 明帅强, 文庆涛, 高雅增, 闫美菊, 卢维尔, 夏洋. 基于原子层沉积技术制备氧化钽薄膜及其特性研究. 材料导报[J]. 2021, 35(6): 6042-6047, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2021&filename=CLDB202106007&v=MDEzNjNVUjd1ZlllZG1GaTdrVzczSkppSFBiTEc0SE5ETXFZOUZZNFI4ZVgxTHV4WVM3RGgxVDNxVHJXTTFGckM=.
[17] 陈楠, 王玥, 王博雨, 夏洋, 刘涛. 基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型. 光谱学与光谱分析[J]. 2021, 41(4): 1125-1130, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2021&filename=GUAN202104026&v=MTE3ODdTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVI3dWZZZWRtRmlEbVZick5JampLWUxHNEhORE1xNDlIWW9SOGVYMUx1eFk=.
[18] 高雅增, 吴鹿杰, 卢维尔, 刘虹遥, 夏洋, 赵丽莉, 李艳丽, 孔祥东, 韩立. 基于严格耦合波理论的硬X射线菲涅耳波带片设计. 光学学报[J]. 2021, 41(11): 86-90, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7105317512.
[19] Nan, Chen, Yue, Wang, Tao, Liu, Yang, Xia. Fourier transform infrared nano-spectroscopy: Mechanism and applications. APPLIED SPECTROSCOPY REVIEWS[J]. 2021, 56(7): 531-552, http://dx.doi.org/10.1080/05704928.2020.1830789.
[20] 明帅强, 王浙加, 吴鹿杰, 冯嘉恒, 高雅增, 卢维尔, 夏洋. 原子层沉积法制备SnO2薄膜及其对钙钛矿电池的性能影响. 材料导报. 2021, https://t.cnki.net/kcms/detail?v=3uoqIhG8C46NmWw7YpEsKHTPvOGrUOOqX1coEOzL8AH_o1Oj8-j873Jn7os-v1S6mx5TwE7c8aowMJVtq4wW-xTObioVsWrE.
[21] Yu, Yan, Zhang, YanYang, Liu, Lei, Wang, SiSi, Guan, JiHuan, Xia, Yang, Li, ShuShen. Chebyshev polynomial method to Landauer-Buttiker formula of quantum transport in nanostructures. AIP ADVANCES[J]. 2020, 10(7): http://dx.doi.org/10.1063/5.0007682.
[22] Zhou, Changqi, 刘可为, Chen, Xing, Feng, Jiaheng, Yang, Jialin, Zhang, Zhenzhong, Liu, Lei, Xia, Yang, Shen, Dezhen. Performance improvement of amorphous Ga 2 O 3 ultraviolet photodetector by annealing under oxygen atmosphere. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS[J]. 2020, 840: http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.155585.
[23] Liu, Jinglan, Zhang, Xuewei, Zhang, Shuai, Zou, Zhenxing, Zhang, Zilong, Wu, Zehao, Xia, Yang, Li, Qunyang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Sequential growth and twisted stacking of chemical-vapor-deposited graphene. JOURNAL OF EDUCATION AND HEALTH PROMOTION[J]. 2020, 9(1): 983-990, [24] Zhang, Xuewei, Xu, Chen, Zou, Zhenxing, Wu, Zehao, Yin, Shaoqian, Zhang, Zilong, Liu, Jinglan, Xia, Yang, Lin, ChengTe, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. A scalable polymer-free method for transferring graphene onto arbitrary surfaces. CARBON[J]. 2020, 161: 479-485, http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2020.01.111.
[25] Wang, SiSi, Zhang, YanYang, Guan, JiHuan, Yu, Yan, Xia, Yang, Li, ShuShen. Numerical study of disorder on the orbital magnetization in two dimensions. JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER[J]. 2020, 32(33): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000536658500001.
[26] Rui Hou, Yang Xia, Shenyuan Yang. A Linear Relationship between the Charge Transfer Amount and Level Alignment in Molecule/Two-Dimensional Adsorption Systems. ACS OMEGA[J]. 2020, 5(41): 26748-26754, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000584420100045.
[27] 杨胜, 夏洋, 兰丽丽, 陶晓俊, 冯嘉恒, 明帅强, 卢维尔, 屈芙蓉, 刘涛. 集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制. 真空科学与技术学报[J]. 2020, 40(11): 1096-1102, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7103558756.
[28] Liu, Jinglan, Zhang, Xuewei, Jin, Yanhan, Zhang, Yang, Zhang, Zilong, Xia, Yang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Investigation of Thermal Annealing Effect on Bilayer Graphene by Isotope-Labeling-Assisted Raman Spectroscopy. PHYSICA STATUS SOLIDI B-BASIC SOLID STATE PHYSICS[J]. 2020, 257(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000588666300001.
[29] 王延伟, 卢维尔, 闫美菊, 夏洋. 化学气相沉积技术制备亚厘米尺寸单晶石墨烯的工艺研究. 材料导报[J]. 2020, 34(6): 6001-6005, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2020&filename=CLDB202006001&v=MDg0MzMzcVRyV00xRnJDVVI3cWVaK2RtRkNybldydkpKaUhQYkxHNEhOSE1xWTlGWllSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQ=.
[30] Guan, JiHuan, Zhang, YanYang, Wang, SiSi, Yu, Yan, Xia, Yang, Li, ShuShen. Barrier tunneling and loop polarization in Hopf semimetals. PHYSICAL REVIEW B[J]. 2020, 102(6): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000557293400003.
[31] Liu Tao. Fourier transform infrared nano-spectroscopy: Mechanism and applications,Applied Spectroscopy Reviews. Applied Spectroscopy Reviews. 2020, [32] Li, ChangYang, Yu, Chi, Zeng, RongChang, Zhang, BoCheng, Cui, LanYue, Wan, Jun, Xia, Yang. In vitro corrosion resistance of a Ta2O5 nanofilm on MAO coated magnesium alloy AZ31 by atomic layer deposition. BIOACTIVE MATERIALS[J]. 2020, 5(1): 34-43, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7103845475.
[33] Zhang, Xuewei, Wu, Zehao, Zheng, Haoran, Ren, Qiancheng, Zou, Zhenxing, Mei, Le, Zhang, Zilong, Xia, Yang, Lin, ChengTe, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. High-quality graphene transfer via directional etching of metal substrates. NANOSCALE[J]. 2019, 11(34): 16001-16006, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000483691300023.
[34] 王胜涛, 卢维尔, 王桐, 夏洋. PMMA/PVA双支撑膜辅助铜刻蚀法:一种改进的石墨烯转移技术. 材料导报[J]. 2019, 33(2): 230-233, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001189116.
[35] Wang, SiSi, Zhang, YanYang, Guan, JiHuan, Yu, Yan, Xia, Yang, Li, ShuShen. Localization trajectory and Chern-Simons axion coupling for bilayer quantum anomalous Hall systems. PHYSICAL REVIEW B[J]. 2019, 99(12): http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.99.125414.
[36] Zhang, Zilong, Zhang, Xuewei, Wang, Yunlu, Wang, Yang, Zhang, Yang, Xu, Chen, Zou, Zhenxing, Wu, Zehao, Xia, Yang, Zhao, Pei, Wang, Hong Tao. Crack Propagation and Fracture Toughness of Graphene Probed by Raman Spectroscopy. ACS NANO[J]. 2019, 13(9): 10327-10332, [37] Lu, Weier, Cheng, Song, Yan, Meiju, Wang, Yanwei, Xia, Yang. Selective soluble polymer-assisted electrochemical delamination of chemical vapor deposition graphene. JOURNAL OF SOLID STATE ELECTROCHEMISTRY[J]. 2019, 23(3): 943-951, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000459805700024.
[38] 魏茹雪, 王延伟, 江丽雯, 孙旭晴, 刘虹遥, 王畅, 路鑫超, 卢维尔, 夏洋, 黄成军. 利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯. 光学学报[J]. 2019, 39(11): 313-318, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7100541540.
[39] Wang, Yunlu, Zhou, Xiaocheng, Jin, Yanhan, Zhang, Xuewei, Zhang, Zilong, Wang, Yang, Liu, Jinglan, Wang, Miao, Xia, Yang, Zhao, Pei, Zhang, Zhuhua, Wang, Hongtao. Strain-dependent Raman analysis of the G* band in graphene. PHYSICAL REVIEW B[J]. 2019, 100(24): [40] Wu, Zehao, Zhang, Xuewei, Das, Atanu, Liu, Jinglan, Zou, Zhenxing, Zhang, Zilong, Xia, Yang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Step-by-step monitoring of CVD-graphene during wet transfer by Raman spectroscopy. RSC ADVANCES[J]. 2019, 9(71): 41447-41452, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000503782700008.
[41] Guan, JiHuan, Zhang, YanYang, Lu, WeiEr, Xia, Yang, Li, ShuShen. Barrier tunneling of the loop-nodal semimetal in the hyperhoneycomb lattice. JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER[J]. 2018, 30(18): http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2429483.
[42] Wang, Yunlu, Wang, Yang, Xu, Chen, Zhang, Xuewei, Mei, Le, Wang, Miao, Xia, Yang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Domain-boundary independency of Raman spectra for strained graphene at strong interfaces. CARBON[J]. 2018, 134: 37-42, http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2018.03.069.
[43] 崔绍晖, 符庭钊, 王欢, 夏洋, 李超波. 纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究. 发光学报[J]. 2018, 39(4): 481-487, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/fgxb201804007.
[44] Wang, Yang, Cheng, Yu, Wang, Yunlu, Zhang, Shuai, Xu, Chen, Zhang, Xuewei, Wang, Miao, Xia, Yang, Li, Qunyang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Chemical Vapor Deposition Growth of Graphene Domains Across the Cu Grain Boundaries. NANO[J]. 2018, 13(8): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000443302800002.
[45] 彭明娣, 卢维尔, 夏洋, 王桐, 赵丽莉, 李楠. 脉冲激光沉积技术制备超导铌薄膜及其特性研究. 材料导报[J]. 2018, 32(A01): 105-109, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675684354.
[46] Yin, Shaoqian, Zhang, Xuewei, Xu, Chen, Wang, Yang, Wang, Yunlu, Li, Peifeng, Sun, Hongyan, Wang, Miao, Xia, Yang, Lin, ChengTe, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Chemical vapor deposition growth of scalable monolayer polycrystalline graphene films with millimeter-sized domains. MATERIALS LETTERS[J]. 2018, 215: 259-262, http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2017.12.121.
[47] Wang, Yang, Cheng, Yu, Wang, Yunlu, Zhang, Shuai, Zhang, Xuewei, Yin, Shaoqian, Wang, Miao, Xia, Yang, Li, Qunyang, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Oxide-assisted growth of scalable single-crystalline graphene with seamlessly stitched millimeter-sized domains on commercial copper foils. RSC ADVANCES[J]. 2018, 8(16): 8800-8804, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000426710300040.
[48] QingQing Sun, XinRan Nie, Hao Liu, Jing Xu, Hao Zhu, LongFei He, David Wei, Yang Xia, Lin Chen. Light-erasable embedded charge-trapping memory based on MoS2 for system-onpanel. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18077.
[49] 王桐, 夏洋, 李楠, 程嵩, 卢维尔. 直流辉光放电对石墨烯氮掺杂的制备与特性. 微纳电子技术[J]. 2017, 54(8): 539-546, http://159.226.55.106/handle/172511/18071.
[50] Sun Xiaomeng, Li Yongtao, Xia Yang. The effect of substrate morphological structure on photoelectrical conversion performance of silicon solar cell. 2016 2nd International Conference on Advances in Energy Resources and Environment Engineeringnull. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18264.
[51] Jiang Liwen, Lu Xinchao, Li Nan, Liu Hongyao, Xiong Wei, Chen Yaqin, Xia Yang, Sun Xuqing. Imaging to single virus by using surface plasmon polariton scattering. 青年科学家论坛-纳米光子学null. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18265.
[52] 杨军, 李欣, 孙小孟, 杨进, 夏洋, 李勇滔, 林亭廷. D类高效率功率放大器的研究与仿真. 第十届微纳电子技术交流与学术研讨会null. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18261.
[53] 李勇滔, 夏洋, 崔晨, 林亭廷, 杨军, 李欣, 孙小孟. 全固态射频电源. 第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会null. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18259.
[54] 景玉鹏, 孙小孟, 黄洛俊, 夏洋, 李勇滔, 康恒. Black Silicon Solar Cells Modeling and Model Parameters Estimation. International Forum on Mechanical, Control and Automationnull. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18263.
[55] 孙小孟, 夏洋, 李勇滔, 杨军, 李欣, 林亭廷. 大功率射频电源的开发研究. 第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会null. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18260.
[56] Li, Yongtao, Sun, Xiaomeng, Xia, Yang, IOP. The effect of substrate morphological structure on photoelectrical conversion performance of silicon solar cell. 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCES IN ENERGY RESOURCES AND ENVIRONMENT ENGINEERINGnull. 2017, 59: [57] Fu, Tingzhao, Cui, Shaohui, Wang, Huan, Xia, Yang, Li, Chaobo. Tiny impacts for far-field focusing by plasmonic lens with a free slit-width design. OPTICAL ENGINEERING[J]. 2017, 56(11): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000418064900038.
[58] Tang WenHui, Liu BangWu, Zhang BoCheng, Li Min, Xia Yang. Low temperature depositions of GaN thin films by plasma-enhanced atomic layer deposition. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2017, 66(9): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000403077300036.
[59] He, LongFei, Zhu, Hao, Xu, Jing, Liu, Hao, Nie, XinRan, Chen, Lin, Sun, QingQing, Xia, Yang, Zhang, David Wei. Light-erasable embedded charge-trapping memory based on MoS2 for system-on-panel applications. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2017, 111(22): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000416697400034.
[60] 康恒, 黄洛俊, 程嵩, 景玉鹏, 李勇滔, 夏洋. 超临界CO2清洗技术在CMOS图像传感器中的应用. 微纳电子技术[J]. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18074.
[61] 康恒, 林琳, 符庭钊, 李勇滔, 夏洋, 景玉鹏. 微波在半导体退火工艺中的应用. 微纳电子技术[J]. 2017, 54(12): 835-839, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=673779567.
[62] 程嵩, 黄洛俊, 康恒, 李勇滔, 夏洋, 景玉鹏. 微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究. 微电子学[J]. 2017, 47(5): 718-722,728, [63] Xu, Kai, Huang, Yun, Chen, Bo, Xia, Yang, Lei, Wen, Wang, Zhenxing, Wang, Qisheng, Wang, Feng, Yin, Lei, He, Jun. Toward High-Performance Top-Gate Ultrathin HfS2 Field-Effect Transistors by Interface Engineering. SMALL[J]. 2016, 12(23): 3106-3111, http://159.226.55.106/handle/172511/16187.
[64] Zhao, Pei, Cheng, Yu, Zhao, Dongchen, Yin, Kun, Zhang, Xuewei, Song, Meng, Yin, Shaoqian, Song, Yenan, Wang, Peng, Wang, Miao, Xia, Yang, Wang, Hongtao. The role of hydrogen in oxygen-assisted chemical vapor deposition growth of millimeter-sized graphene single crystals. NANOSCALE[J]. 2016, 8(14): 7646-7653, http://159.226.55.106/handle/172511/16185.
[65] 张思敏, 程嵩, 夏洋. 原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺. 微纳电子技术[J]. 2016, 53(9): 605-609,633, http://159.226.55.106/handle/172511/16178.
[66] Cheng, Yu, Song, Yenan, Zhao, Dongchen, Zhang, Xuewei, Yin, Shaoqian, Wang, Peng, Wang, Miao, Xia, Yang, Maruyama, Shigeo, Zhao, Pei, Wang, Hongtao. Direct Identification of Multilayer Graphene Stacks on Copper by Optical Microscopy. CHEMISTRY OF MATERIALS[J]. 2016, 28(7): 2165-2171, http://159.226.55.106/handle/172511/16184.
[67] Song, Yenan, Zhuang, Jianing, Song, Meng, Yin, Shaoqian, Cheng, Yu, Zhang, Xuewei, Wang, Miao, Xiang, Rong, Xia, Yang, Maruyama, Shigeo, Zhao, Pei, Ding, Feng, Wang, Hongtao. Epitaxial nucleation of CVD bilayer graphene on copper. NANOSCALE[J]. 2016, 8(48): 20001-20007, http://159.226.55.106/handle/172511/16186.
[68] 纪箴, 王聪瑜, 夏洋, 贾成厂, 张有茶, 程诚, 黄小泓. 氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状. 粉末冶金技术[J]. 2015, 33(6): 460-464, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=667761605.
[69] 刘上贤, 汪明刚, 夏洋. Ar/CO/NH3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层. 半导体技术[J]. 2015, 40(9): 675-678,717, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/bdtjs201509008.
[70] 张有茶, 夏洋, 贾永昌, 张庆钊, 王文东, 刘金虎, 王聪瑜. 刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状. 热喷涂技术[J]. 2014, 19-23, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=662500748.
[71] Wang JianQiang, Liu BangWu, Xia Yang, Xu Zheng. Simulation on reflection plate angles of the efficient black silicon PV modules. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2014, 63(1): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000332029100056.
[72] 卢维尔, 李超波, 夏洋, 李楠, 张艳清, 赵丽莉. 原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究. 材料导报:纳米与新材料专辑[J]. 2014, 28(2): 255-259, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=663621062.
[73] Rao, ZhiPeng, Liu, BangWu, Li, ChaoBo, Xia, Yang, Wan, Jun. Dehydroxylation action on surface of TiO2 films restrained by nitrogen carrier gas during atomic layer deposition process. RARE METALS[J]. 2014, 33(5): 583-586, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000343725100015.
[74] Lu WeiEr, Dong YaBin, Li ChaoBo, Xia Yang, Li Nan. Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2014, 29(4): 345-351, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000336887600002.
[75] 卢维尔, 李超波, 夏洋, 李楠, 张艳清, 赵丽莉. 原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究. 材料导报[J]. 2014, 255-259, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=67766866504849528350485453.
[76] Rao Zhipeng, Wan Jun, Li Chaobo, Chen Bo, Liu Jian, Huang Chengqiang, Xia Yang. In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited by PEALD for Visible Light Activity. PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY[J]. 2014, 16(3): 239-243, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=49205866.
[77] Liu, Jie, Liu, Bangwu, Zhong, Sihua, Liu, Jinhu, Xia, Yang, Li, Chaobo. A mask-less scheme to generate nano-honeycomb-textured structures for solar cells. CHINESE SCIENCE BULLETIN[J]. 2014, 59(14): 1575-1579, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092459.
[78] 邹志超, 李超波, 罗军, 夏洋. 等离子体浸没离子注入技术在FinFET掺杂中的应用. 半导体技术[J]. 2014, 39(8): 596-599,604, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092465.
[79] Lu, Weier, Dong, Yabin, Li, Chaobo, Xia, Yang, Liu, Bangwu, Xie, Jing, Lia, Nan, Zhang, Yanqing. Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique. APPLIEDSURFACESCIENCE[J]. 2014, 303: 111-117, http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.02.097.
[80] Lu WeiEr, Dong YaBin, Li ChaoBo, Xia Yang, Li Nan. Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2014, 29(4): 345-351, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000336887600002.
[81] 夏洋. Process Study of Atomic Layer Deposition Al2O3 in Industry Application for Solar Cells. Advanced Materials Research. 2014, [82] 夏洋, 贾毅. 新原理集成电路设备研发. 电子工业专用设备[J]. 2014, 43(7): 70-72, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=663135156.
[83] 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 黄成强, 夏洋. In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited by PEALD for Visible Light Activity. 等离子体科学与技术:英文版[J]. 2014, 239-243, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=49205866.
[84] Shen ZeNan, Xia Yang, Liu BangWu, Liu JinHu, Li ChaoBo, Li YongTao. Realization of conformal doping on multicrystalline silicon solar cells and black silicon solar cells by plasma immersion ion implantation. CHINESE PHYSICS B[J]. 2014, 23(11): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000345124600102.
[85] Zhong, Sihua, Liu, Bangwu, Xia, Yang, Liu, Jinhu, Liu, Jie, Shen, Zenan, Xu, Zheng, Li, Chaobo. Influence of the texturing structure on the properties of black silicon solar cell. SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS[J]. 2013, 108: 200-204, http://dx.doi.org/10.1016/j.solmat.2012.10.001.
[86] Rao ZhiPeng, Wan Jun, Feng JiaHeng, Li ChaoBo, Xia Yang. Preparation of Nano-scaled TiO2-xNx Photocatalyst by PEALD in-situ Doping. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2013, 28(7): 691-695, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000322429700002.
[87] Dong YaBin, Xia Yang, Li ChaoBo, Lu WeiEr, Rao ZhiPeng, Zhang Yang, Zhang Xiang, Ye TianChun. Investigation on the relationship between the properties of atomic layer deposition ZnO film and the dose of precursor. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(14): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000323623700061.
[88] Liu, Jie, Liu, Bangwu, Liu, Su, Shen, Zenan, Li, Chaobo, Xia, Yang. A simple method to produce dual-scale silicon surfaces for solar cells. SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY[J]. 2013, 229: 165-167, http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.06.043.
[89] Feng JiaHeng, Tang LiDan, Liu BangWu, Xia Yang, Wang Bing. Low-temperature growth of AIN thin films by plasma-enhanced atomic layer deposition. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(11): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000320244200061.
[90] Li Yong, Li HuiQi, Xia Yang, Liu BangWu. Study on atomic layer deposition preparation of core-shell structured nanometer materials. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000327007700068.
[91] 沈泽南, 刘邦武, 夏洋, 刘杰, 李超波, 刘金虎, 钟思华. 多晶黑硅材料及其太阳电池应用研究. 太阳能学报[J]. 2013, 34(5): 729-733, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/tynxb201305001.
[92] 冯嘉恒, 唐立丹, 刘邦武, 夏洋, 王冰. 等离子增强原子层沉积低温生长AlN薄膜*. 物理学报[J]. 2013, 62(11): 438-443, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/wlxb201311063.
[93] Shen, Zenan, Liu, Bangwu, Xia, Yang, Liu, Jie, Liu, Jinhu, Zhong, Sihua, Li, Chaobo. Black silicon on emitter diminishes the lateral electric field and enhances the blue response of a solar cell by optimizing depletion region uniformity. SCRIPTA MATERIALIA[J]. 2013, 68(3-4): 199-202, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000312422800009.
[94] 邵花, 王文东, 刘训春, 夏洋. 磁控溅射法制备低电阻率Ta薄膜研究. 功能材料[J]. 2013, 44(18): 2625-2629, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092441.
[95] Dong YaBin, Xia Yang, Li ChaoBo, Lu WeiEr, Rao ZhiPeng, Zhang Yang, Zhang Xiang, Ye TianChun. Investigation on the relationship between the properties of atomic layer deposition ZnO film and the dose of precursor. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(14): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000323623700061.
[96] 林永奔, 李勇滔, 李超波, 夏洋, 汪明刚, 陈焰. 基于PSS刻蚀平台的真空微气压控制研究. 光电工程[J]. 2013, 93-99, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=45141078.
[97] Rao ZhiPeng, Wan Jun, Feng JiaHeng, Li ChaoBo, Xia Yang. Preparation of Nano-scaled TiO2-xNx Photocatalyst by PEALD in-situ Doping. JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS[J]. 2013, 28(7): 691-695, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000322429700002.
[98] 王坚强, 刘邦武, 夏洋. Cu_2O薄膜的制备与表征. 功能材料[J]. 2013, 44(14): 2056-2058,2064, http://10.10.10.126/handle/311049/11884.
[99] Lu, WeiEr, Zhang, YongLiang, Zheng, MeiLing, Jia, YanPeng, Liu, Jie, Dong, XianZi, Zhao, ZhenSheng, Li, ChaoBo, Xia, Yang, Ye, TianChun, Duan, XuanMing. Femtosecond direct laser writing of gold nanostructures by ionic liquid assisted multiphoton photoreduction. OPTICAL MATERIALS EXPRESS[J]. 2013, 3(10): 1660-1673, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092438.
[100] Li Yong, Li HuiQi, Xia Yang, Liu BangWu. Study on atomic layer deposition preparation of core-shell structured nanometer materials. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000327007700068.
[101] 闫坤坤, 黄春, 王文东, 裘爱华, 赵嵩卿, 夏洋. 大气等离子喷涂氧化钇涂层的相结构及表面形貌. 金属热处理[J]. 2013, 38(12): 5-9, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092445.
[102] Zhang Xiang, Liu BangWu, Zhao Yan, Li ChaoBo, Xia Yang. Influence of annealing temperature on passivation performance of thermal atomic layer deposition Al2O3 films. CHINESE PHYSICS B[J]. 2013, 22(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000329565500064.
[103] 张阳, 张祥, 卢维尔, 李超波, 夏洋. 原子层沉积制备ZnO薄膜研究进展. 半导体技术[J]. 2013, 38(5): 368-376, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=4831872&detailType=1.
[104] 崔高增, 刘涛, 李国光, 郭霞, 夏洋. 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法. 激光与光电子学进展[J]. 2013, 50(6): 061201-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=4864378&detailType=1.
[105] 杨威风, 汪明刚, 刘杰, 李超波, 夏洋, 高福宝. 腔室状态对图形化蓝宝石衬底刻蚀工艺的影响. 半导体技术[J]. 2012, 37(3): 216-220, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40999046.
[106] 邵长金, 何静, 刘邦武, 夏洋, 李超波. 黑硅材料的制备及其光学特性. 发光学报[J]. 2012, 33(12): 1357-1361, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=44275613.
[107] 刘邦武, 钟思华, 何静, 夏洋, 李超波. 液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能. 发光学报[J]. 2012, 33(11): 1264-1267, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43907999.
[108] Liu, Jie, Liu, Bangwu, Shen, Zenan, Liu, Jinhu, Zhong, Sihua, Liu, Su, Li, Chaobo, Xia, Yang. Characterization of PII textured industrial multicrystalline silicon solar cells. SOLAR ENERGY[J]. 2012, 86(10): 3004-3008, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000309306300011.
[109] Wang Lixin, Lu Jiang, Liu Gang, Wang Chunlin, Teng Rui, Han Zhengsheng, Xia Yang. Simulation of the sensitive region to SEGR in power MOSFETs. 半导体学报[J]. 2012, 33(5): 054008-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41934118.
[110] 王立新, 陆江, 刘刚, 王春林, 腾瑞, 韩郑生, 夏洋. Simulation of the sensitive region to SEGR in power MOSFETs. 半导体学报[J]. 2012, 33(5): 054008-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41934118.
[111] 黄成强, 陈波, 李超波, 夏洋, 汪明刚, 饶志鹏. 基于图形化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展. 激光与光电子学进展[J]. 2012, 49(7): 070007-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42520354.
[112] 王立新, 单尼娜, 夏洋, 宋李梅, 韩郑生. 高频硅PNP晶体管3CG120高温失效机理研究. 电子设计工程[J]. 2012, 20(11): 76-78, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42184332.
[113] Liu Jie, Liu BangWu, Xia Yang, Li ChaoBo, Liu Su. Study on the optical characteristic of "black silicon" antireflection coating prepared by plasma immersion ion implantation. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2012, 61(14): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000307422900057.
[114] 王立新, 单尼娜, 刘刚, 韩郑生, 夏洋. 功率VDMOS晶体管的抗总剂量辐照研究. 核电子学与探测技术[J]. 2012, 32(7): 769-771, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43390028.
[115] Xia, Yang, Liu, Bangwu, Zhong, Sihua, Li, Chaobo. X-ray photoelectron spectroscopic studies of black silicon for solar cell. JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA[J]. 2012, 184(11-12): 589-592, http://dx.doi.org/10.1016/j.elspec.2011.10.004.
[116] Liu, Bangwu, Zhong, Sihua, Liu, Jinhu, Xia, Yang, Li, Chaobo. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells. INTERNATIONAL JOURNAL OF PHOTOENERGY[J]. 2012, 2012: https://doaj.org/article/ee826f7b86fd4a7fafdfa87950e964b2.
[117] 黄成强, 夏洋, 陈波, 李超波, 万军, 汪明刚, 饶志鹏, 李楠, 张祥. 图形化蓝宝石衬底工艺研究进展. 半导体技术[J]. 2012, 37(7): 497-503,581, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42508681.
[118] Luo Wei, Xie Jing, Zhang Yang, Li Chaobo, Xia Yang. Anodic bonding using a hybrid electrode with a two-step bonding process. 半导体学报[J]. 2012, 33(6): 066001-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42279664.
[119] 汪明刚, 杨威风, 李超波, 刘训春, 夏洋. Cl2/BCl3感应耦合等离子体GaN刻蚀侧壁形貌研究. 半导体技术[J]. 2012, 37(5): 367-370, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41921061.
[120] 张祥, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 刘杰, 沈泽南. A12o3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用. 物理学报[J]. 2012, 61(18): 187303-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43406301.
[121] 李浩, 田沛, 李超波, 夏洋, 屈芙蓉, 赵章琰. 基于LabVIEW的伺服电机寻原点策略的实现. 中国科技博览[J]. 2012, 119-120, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40506046.
[122] Luo, Wei, Xie, Jing, Li, Chaobo, Zhang, Yang, Xia, Yang. High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation. NANOTECHNOLOGY[J]. 2012, 23(37): http://dx.doi.org/10.1088/0957-4484/23/37/375303.
[123] 孙小孟, 李勇滔, 夏洋, 李超波, 李英杰, 陈盛云, 赵章琰, 秦威. ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究. 现代电子技术[J]. 2012, 35(3): 202-203, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=40863775.
[124] Zhang Xiang, Liu BangWu, Xia Yang, Li ChaoBo, Liu Jie, Shen ZeNan. The passivation of Al2O3 and its applications in the crystalline silicon solar cell. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2012, 61(18): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000311836700065.
[125] Liu Jie, Liu BangWu, Xia Yang, Li ChaoBo, Liu Su. Study on the optical characteristic of "black silicon" antireflection coating prepared by plasma immersion ion implantation. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2012, 61(14): http://dx.doi.org/10.7498/aps.61.148102.
[126] 汪明刚, 杨威风, 胡冬冬, 李超波, 夏洋. 图形化蓝宝石衬底技术综述. 激光与光电子学进展[J]. 2012, 49(8): 080005-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42729862.
[127] Yang WeiFeng, Zhang QingZhao, Wang MingGang, Xia Yang. Formation mechanism of subtrenches on cone-shaped patterned sapphire substrate. SCIENCE CHINA-TECHNOLOGICAL SCIENCES[J]. 2011, 54(8): 2232-2236, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=38450030.
[128] YANG WeiFeng ZHANG QingZhao WANG MingGang XIA Yang. Formation mechanism of subtrenches on cone-shaped patterned sapphire substrate. 中国科学:技术科学英文版[J]. 2011, 54(8): 2232-2236, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=38450030.
[129] 夏洋. 黑硅制备及应用进展. 固体电子学研究与进展[J]. 2011, 31(4): 387-392, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=39098682.
[130] Xia, Yang, Liu, Bangwu, Liu, Jie, Shen, Zenan, Li, Chaobo. A novel method to produce black silicon for solar cells. SOLAR ENERGY[J]. 2011, 85(7): 1574-1578, http://dx.doi.org/10.1016/j.solener.2011.03.012.
[131] 王文东, 罗小晨, 李超波, 夏洋, 刘邦武. 等离子喷涂氧化钇涂层的组织结构. 金属热处理[J]. 2010, 16-18, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=35662130.
[132] 饶志鹏, 刘键, 夏洋. 三维物体的重建方法. 微纳电子技术[J]. 2010, 47(9): 564-572, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=35300398.
[133] 刘杰, 汪明刚, 杨威风, 李超波, 夏洋. 等离子体浸没离子注入技术与设备研究. 半导体技术[J]. 2010, 35(7): 626-629, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34586322.
[134] 刘邦武, 李超波, 李勇涛, 夏洋. InP/Si键合技术研究进展. 电子工艺技术[J]. 2010, 12-15, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=32886117.
[135] 汪明刚, 刘杰, 杨威风, 李超波, 夏洋. 等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究. 核聚变与等离子体物理[J]. 2010, 370-373, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2000015470.
[136] 郭丽莎, 夏洋. 一种减少VDMOS寄生电容的新结构. 现代电子技术[J]. 2009, 32(20): 200-202, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=31929059.
[137] 于进勇, 刘新宇, 夏洋. InP/InGaAs heterojunction bipolar transistors with different μ-bridge structures. 半导体学报[J]. 2009, 31-33, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=32337821.
[138] 王文博, 王晓慧, 黄苒, 欧毅, 杜寰, 夏洋, 韩郑生, 冯亚云, 凌志华. LCoS平板微显示驱动技术研究. 半导体光电[J]. 2009, 30(1): 38-42, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29628185.
[139] 王晓冬, 吉元, 李志国, 夏洋, 刘丹敏, 肖卫强. 大马士革镶嵌结构对Cu膜微结构及应力的影响. 微电子学[J]. 2008, 38(1): 89-92, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26538880.
[140] 韩郑生, 刘刚, 蔡小五, 王立新, 夏洋, 刘梦新. 一种抗辐照功率MOSFET器件. 核电子学与探测技术[J]. 2008, 28(6): 1167-1170, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29343884.
[141] 蔡小五, 海潮和, 王立新, 陆江, 刘刚, 夏洋. Power VDMOS中辐照引起的氧化物陷阱电荷和界面态电荷. 功能材料与器件学报[J]. 2008, 14(5): 927-930, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=28582371.
[142] 王晓冬, 吉元压, 钟涛兴, 李志国, 夏洋, 刘丹敏, 肖卫强. Cu金属化系统双扩散阻挡层的研究. 微纳电子技术[J]. 2008, 45(3): 179-182, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26734054.
[143] 刘刚, 蔡小五, 韩郑生, 陆江, 王立新, 夏洋. 国产VDMOS电离辐射环境中的敏感参数研究. 核技术[J]. 2008, 31(8): 613-615, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27918618.
[144] 王立新, 夏洋. 低压VDMOS金属层电阻的模拟分析. 电子器件[J]. 2008, 31(3): 783-785, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27447998.
[145] 王晓冬, 吉元, 钟涛兴, 李志国, 夏洋, 刘丹敏, 肖卫强. 大马士革铜互连线织构的研究. 半导体学报[J]. 2008, 29(6): 1136-1140, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27516640.
[146] 薛丽君, 刘明, 王燕, 禡龙, 鲁净, 谢常青, 夏洋. 偏栅Al_xGa_(1-x)N/GaN HEMT的二维模拟与特性分析. 固体电子学研究与进展[J]. 2007, 181-185, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1000050448.
[147] 宋李梅, 杜寰, 夏洋. 场发射示器矩阵寻址高压驱动电路的设计研究. 真空电子技术[J]. 2007, 33-36, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=25846949.
[148] 宋李梅, 王文博, 杜寰, 夏洋. 高压n LDMOS漂移区的设计研究. 功能材料与器件学报[J]. 2007, 13(6): 635-639, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26180575.
[149] Song Limei, Li Hua, Du Huan, Xia Yang, Han Zhengsheng, Hai Chaohe. 100V高压CMOS工艺关键技术的研究. 半导体学报[J]. 2006, 27(11): 1900-1905, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1089898.
[150] 宋李梅, 李桦, 杜寰, 夏洋. 场发射平板显示高低压电平转换电路. 发光学报[J]. 2006, 27(5): 822-826, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1089903.
[151] Liu MIng, Lu Jing, Ma Jie, Xie Changqing, Yu Zhiping, Xue Lijun, Xia Yang, Wang Yan, Shao Xue. AlGaN/GaN HEMT二维静态模型与模拟. 半导体学报[J]. 2006, 27(2): 298-303, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21261804.
[152] 薛丽君, 夏洋, 刘明, 王燕, 邵雪, 鲁净, 马杰, 谢常青, 余志平. AlGaN/GaN HEMT二维静态模型与模拟. 半导体学报[J]. 2006, 27(2): 298-303, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21261804.
[153] 王晓冬, 吉元, 李志国, 卢振军, 夏洋, 刘丹敏, 肖卫强. ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性. 电子学报[J]. 2004, 32(8): 1302-1304, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10280221.
[154] 龙世兵, 马纪东, 于广华, 赵洪辰, 朱逢吾, 张国海, 夏洋. SiO2/Ta界面反应及其对Cu扩散的影响. 北京科技大学学报[J]. 2003, 25(1): 33-35, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7446672.
[155] 彭练矛, 陈清, 梁学磊, 车仁超, 夏洋, 薛增泉, 吴全德. 金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量. 半导体学报[J]. 2003, 24(B05): 170-174, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=9068843.
[156] 陈清, 梁学磊, 车仁超, 夏洋, 薛增泉, 吴全德, 彭练矛. 碳纳米管室温单电子器件的构建和特性测量. 物理[J]. 2002, 31(12): 761-763, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7217648.
[157] 于广华, 夏洋. 较薄坡莫合金薄膜的磁性能和结构. 真空科学与技术[J]. 2001, 21(5): 419-422, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=5962066.
[158] 于广华, 夏洋. 磁性多层膜的Ф射线光电子能谱研究. 真空科学与技术[J]. 2000, 20(5): 315-318, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=4664838.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 主持, 国家级, 2015-01--2020-12
( 2 ) 28-14nm原子层沉积系统(ALD)腔室关键技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2018-12

指导学生

已指导学生

宋李梅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

于进勇  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郭丽莎  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛丽君  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

袁婷婷  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗小晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王立新  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄成强  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

汪明刚  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨威风  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

饶志鹏  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗巍  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

沈泽南  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

胡冬冬  博士研究生  085271-电子与信息  

刘上贤  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张祥  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张阳  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

窦伟  硕士研究生  430110-集成电路工程  

董亚斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张思敏  硕士研究生  085209-集成电路工程  

程嵩  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

严冬  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王林梓  博士研究生  085271-电子与信息  

现指导学生

杨胜  硕士研究生  085209-集成电路工程  

明帅强  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学