夏洋,中国科学院微电子研究所副总工程师，研究员，博士生导师。科技部“重大科学仪器设备开发”重点专项总体专家组副组长。

主要研究方向为微电子装备及工艺技术研究。完成国家02重大专项“32nm以下设备关键技术研究及创新设备技术探索”等项目任务。成功开发原子层沉积系统、ICP刻蚀机及曝光机等一系列国产高端设备。现为国家自然基金重大仪器项目“二维电子材料及纳米量子器件研究和原位分析仪器”项目负责人。

   

080903-微电子学与固体电子学
140100-集成电路科学与工程

集成电路先导工艺技术
新原理装备技术
新型太阳能电池

1995-09--1998-07   北京科技大学材料物理系   博士学位
1987-09--1990-07   北京科技大学材料物理系   硕士学位
1979-09--1983-07   北京大学物理系   学士学位

博士研究生

博士研究生

   

1998-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 仪器设备中心主任
1990-07~1995-09,北京航空材料研究院, 工程师
1983-09~1987-07,江西师范大学, 任教

微电子工艺与装备技术
《红楼梦》的理性赏析
半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备
微电子技术系列讲座

已指导学生

宋李梅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

于进勇  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

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袁婷婷  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

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王立新  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

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